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日本东丽toray氧气表MS-500

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更新日期:2021-03-08

简要描述:

日本东丽toray氧气表MS-500
z多可以同时测量8个点
浓度范围从ppm到100均可显示。
非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。

日本东丽toray氧气表MS-500

日本东丽toray氧气表MS-500

  • z多可以同时测量8个点
  • 浓度范围从ppm到100均可显示。
  • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
  • 传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
  • 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。

日本东丽toray氧气表MS-500

MS-500设备规格

测量原理

氧化锆轻型电池

形状

分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)

显示方式

4位数字显示(密度显示)

测量范围

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压
自动范围

重复性

在±0.5%FS 0-1%范围内或以上
±1%FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%内,atm范围超出保证的浓度范围

测量点数

1-8

样气条件

压力

10 -3至200 KPa(压力)

流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)

湿度

露点低于环境温度

温度

0-100℃

其他

不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫化物的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。

比较气

大气层

记录仪输出

仅变速箱输出

变速箱输出

RS-232C

报警输出

没有

热身时间

6分钟以内

尺寸

MS-500(控制器)

92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

MS-510(转换器)

100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

传感器单元

SD16NW

总长100 mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)

SD25NW

总长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)

SD40NW

总长100 mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)

大众

MS-500(控制器)

约0.6Kg

MS-510(转换器)

约0.5kg

传感器单元

SD16NW

约0.2Kg

SD25NW

约0.2Kg

SD40NW

约0.35Kg

外部连接

真空法兰之一(NW16、25、40)

使用电源

24VDC±10%

 

 

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