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更新日期：2024-03-16
简要描述：
日本东丽toray氧气表MS-500z多可以同时测量8个点浓度范围从ppm到100均可显示。非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
日本东丽toray氧气表MS-500
日本东丽toray氧气表MS-500
测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
形状 | 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） | ||
显示方式 | 4位数字显示（密度显示） | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20〜10 -0大气压 | ||
重复性 | 在±0.5％FS 0-1％范围内或以上 | ||
测量点数 | 1-8 | ||
样气条件 | 压力 | 10 -3至200 KPa（压力） | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然扩散状态的测量） | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
比较气 | 大气层 | ||
记录仪输出 | 仅变速箱输出 | ||
变速箱输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 没有 | ||
热身时间 | 6分钟以内 | ||
尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
MS-510（转换器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
传感器单元 | SD16NW | 总长100 mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） | |
SD25NW | 总长100mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） | ||
SD40NW | 总长100 mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） | ||
大众 | MS-500（控制器） | 约0.6Kg | |
MS-510（转换器） | 约0.5kg | ||
传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
SD25NW | 约0.2Kg | ||
SD40NW | 约0.35Kg | ||
外部连接 | 真空法兰之一（NW16、25、40） | ||
使用电源 | 24VDC±10％ | ||
