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日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率

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更新日期:2020-11-05

简要描述:

日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率TM3
热物理性质显微镜是测量热渗透率的装置,热渗透率是热物理性质值之一。
它是一种可以通过点,线和表面来测量样品的热性能的设备。
也可以测量微米级的热物理性质值的分布,这在常规热物理性质测量设备中被认为是困难的。

日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率

日本hrd-thermal测量薄膜和微小区域热导率TM3

 

特性

  • 热物理性质显微镜是测量热渗透率的装置,热渗透率是热物理性质值之一。
  • 它是一种可以通过点,线和表面来测量样品的热性能的设备。
  • 也可以测量微米级的热物理性质值的分布,这在常规热物理性质测量设备中被认为是困难的。
  • 它是*yi款能够进行非接触式高分辨率热性能测量的设备。
  • 检测光斑直径为3μm,可在微小区域内高分辨率测量热物理性质(点/线/表面测量)。
  • 由于可以通过改变深度范围进行测量,因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
  • 您也可以测量基材上的样品。
  • 激光非接触式测量。
  • 可以检测薄膜下的裂缝,空隙和剥离。

热物理显微镜的测量原理(概述)

在样品上形成金属薄膜,并用加热激光器定期加热。

  1. 由于金属的反射率具有根据表面温度而变化的性质(热解法),因此通过捕捉与加热激光器同轴地照射的检测激光器的反射强度的变化,来测量表面的相对温度变化。去做。
  2. 热量从金属薄膜传播到样品,导致表面温度响应的相位延迟。该相位延迟取决于样品的热性质。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热渗透率。 

主要规格

名称/产品名称

热物理显微镜/热显微镜

测量方式

热物理性质分布测量(1维,2维,1点)

测量项目

热渗透率,(热扩散率),(热导率)

检测光斑直径

约3μm

1点测量标准时间

10秒

待测薄膜

厚度几百纳米到几十微米

重复精度

耐热玻璃,硅的热渗透率小于±10%

样品

1.样品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板状样品30mm x 30mm以内,厚度3mm以内

  • 需要对样品表面进行镜面抛光。
  • 样品表面需要进行Mo溅射。

工作温度极限

24°C±1°C(根据设备中内置的温度传感器)

平台移动距离

・ X轴方向20mm
・ Y轴方向20mm
・ Z轴方向10mm

加热激光

半导体激光波长:808nm

检测激光

半导体激光波长:658nm

电源

交流100V 1.5kVA

标准配件

样品架,参考样品

选项

光学压盘,空调,空调房,飞溅装置

 

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