日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型

配备了于VAAV的超灵敏加速度传感器。准确掌握微小的振动。

高速计算由我们独chuang的主动隔振算法执行，而振动立即由高精度大功率执行器消除。

我们在地板侧慷慨地部署了超灵敏的加速度传感器，并通过前馈控制实现了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而没有共振现象的同时，还可以在短时间内同时衰减由安装台的激振力施加的振动。

配备舞台前馈功能和波形显示软件作为标准设备。

特点

• 在具有与VAAV-A系列相同的性能的同时，可以将设备的整体高度保持较低。
• 气动控制可实现各个方向的高精度位移和位置控制。
• 可以选择具有高响应速度的大流量阀，以应对较大的移动负载。
• 安全可靠的设计与CE标记兼容。（控制器SAC-07）
• 标配台前馈功能和振动波形显示分析软件。

用途

• 在半导体制造和检查设备中，它被用作对付需要精细处理的晶片上的振动的对策，并且被用作对付晶片移动台上的振动的对策。
• 在液晶制造和检查设备中，其目的是在龙门架或工作台显着移动时快速衰减振动，并立即对其进行检查或纠正，这有助于缩短节拍时间。
• 在超精密机床中，它用于消除工作台上的振动以进行精密加工，同时支持大载荷的运动。

日本昭和SSC主动隔振装置VAAV-H超薄型