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日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

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更新日期:2020-12-25

简要描述:

日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900
下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。
为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制,我们实现了满足现场需求的z佳功能,例如稳定的测量精度,考虑到工作安全性的独特管道固定结构以及紧凑的设计。

日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

总览

下一代湿法HORIBA通过控制化学药品浓度来提高产量并优化工艺。

为了在半导体制造过程中遵守严格的化学浓度控制,我们实现了满足现场需求的z佳功能,例如稳定的测量精度,考虑到工作安全性的独特管道固定结构以及紧凑的设计。

特征

实现完全的非接触式和高稳定性

外部直接连接到PFA管道的独特传感器结构消除了污染的风险。此外,它消除了安装传感器时的管道工作需求,并消除了化学泄漏等事故的风险。此外,通过更新传感器的光学系统,我们实现了小型化,同时保持了与常规产品(CS-600F * 1)相同的可重复性和稳定性。

高质量和稳定的测量

  • Contami风险为“零”
  • 重现性和稳定性相当于传统产品CS-600F * 1
  • 纠正由于液温变化而引起的显示器读数变化
  • 采用HORIBA独chuang的算法来纠正气泡的影响

抑制振动效果

  • 采用HORIBA独chuang的光学系统结构,可防止管道固定和未对准

节省空间

  • 将光源和光谱仪集成到电池单元中
  • 显示器使用面板安装类型(9.6厘米x 9.6厘米)

延长光源寿命

  • 采用LED灯,使用寿命更长(5年保修)

改善工作安全

  • 半年一次的BG校正周期
  • 由于安装传感器时无需安装管道,因此降低了发生化学泄漏等事故的风险。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纤型化学浓度监测仪。

由于不使用光纤的光学设计以及放大器和传感器的小型化,增加了安装布局的灵活性

实现直接和稳定的化学物质测量(20°C至80°C)

■稳定性

测量条件
测量周期:每3秒测量时间:1小时
移动平均值:16次温度:室温管径:3/4英寸
样品浓度(在测量开始时)
NH 3:0.95%H 2 O 2:5.15%H 2 O :93.9%

测量结果作为
样品(实际溶液)的1小时的测量结果,显示出良好的稳定性。

日本horiba非接触式化学浓度监测仪CS-900

规范

产品名称

非接触式化学浓度监测仪CS-900

模型

CS-900

测量原理

吸收光谱

浓度计算方法

温度补偿多元分析方法

测量范围/
再现性系统
(单位:质量%)

型号名称

成分名称

测量范围

重现精度

模拟量输出范围

CS-900-1P-1P25P5

NH 3

0.00%-1.20%

±0.05%

0.00-10.00

2 O 2

0.00%-5.50%

±0.10%

0.00-10.00

高氧2

93.3%-100.0%

 ±1.0%

     ---

CS-900-1P-P8P8

NH 3

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

2 O 2

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

高氧2

98.4%-99.6%

±0.3%

     ---

测量条件

1)测量周期:大约3秒
2)移动平均值:16次

管道* 1

PFA管道1英寸或3/4英寸

样品溶液条件* 2

化学溶液温度:20-80°C化学
溶液温度变化,环境温度变化在±1°C内(1小时)
输入压力:0.2MPa(G)以下
压力变化:0.02MPa以下

电源供应

DC24V

消耗功率* 3

约30W

大众

显示:约0.9Kg
传感器单位:约2.9Kg

外形尺寸(宽x深x高)

显示:96 x 135 x 96 mm
传感器单元* 4:238 x 140 x 146 mm

传感器单元安装角度

前后方向:±3度以内,左右方向:0-90度

光源寿命

5年

通讯

并行I / O,RS-232C,模拟输出

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