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日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器

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更新日期:2021-05-06

简要描述:

日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是适用于半导体制造工艺等中使用的清洁气体压力控制的大流量型控制器,由气压控制单元(相当于AP100N)和圆顶型调节器单元组成。

日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器
测量范围1MPa

日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500

 

AP250和AP500是适用于半导体制造工艺等中使用的清洁气体压力控制的大流量型控制器,由气压控制单元(相当于AP100N)和圆顶型调节器单元组成。

 

 此外,外部安装有压力传感器,来自传感器的信号输入到气压控制单元,气压控制组的阀被开/关控制,以调节调节器中球罩的内部压力自动调节以匹配任何设定的压力值。通过将流量传感器安装到外部,它也可以用作流量控制器。

 

 AP250的最大控制流量为5001 / min,AP500的最大控制流量为2000L / min,两种类型的最大控制压力约为600kPa。

 

 压力接头与适用于AP250的1/2“ VCR和适用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。适用于真空清洁气体,用于导体,惰性气体,腐蚀性气体,危险气体等可以使用。

日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500

规格

模型AP250AP500
主要用途对于FPD,燃料电池对于FPD,燃料电池
目标气体N2,空气,H2等N2,空气,H2等
入口压力999kPa以下999kPa以下
耐压小于1500kPa小于1500kPa
压力设定用显示设定装置设定用显示设定装置设定
控制方式圆顶内部的气动控制圆顶内部的气动控制
控制压力0-500kPa0-500kPa
最大流量500L /分钟2000L /分钟
响应时间1秒钟达到设定值1秒钟达到设定值
输入信号0-5 VDC连续/关闭0-5 VDC连续/关闭
RS485RS485
外部传感器输入(4至20mA标准)(4至20mA标准)
输出信号报警输出,RS485报警输出,RS485
管件相当于1/2英寸的VCR或相当于1/2英寸的世伟洛克相当于3/4英寸的VCR或相当于3/4英寸的世伟洛克
阀座泄漏10-5Pa ・ m3 /秒以下10-5Pa ・ m3 /秒以下
准确性取决于压力传感器的规格取决于压力传感器的规格
电源电压24VDC±10%24VDC±10%
目前的消费200mA以下200mA以下
工作温度0-50℃无凝结0-50℃无凝结
面之间的外部尺寸宽70×深145×高124mm宽80×深178×高170mm
压力传感器无(外部)无(外部)
显示设定装置是(可以单独安装)是(可以单独安装)

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