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内置式陶瓷气体过滤器

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更新日期:2021-05-08

简要描述:

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
在超微LSI制造工艺中,要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说,管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器,从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。

内置式陶瓷气体过滤器
用途过滤杂质

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

 

  • 高过滤精度
    在超微LSI制造工艺中,要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说,管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器,从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。
  • 蚀刻和薄膜形成时必不可缺的高选择性
    在追求高选择性的过程中,极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物,首先必不可缺的,是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。
  • 零维护实现成本削减
    能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构,因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比,具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失,并可长期持续地削减成本。

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

规格

 

过滤精度0.003μm(但是,纯水过滤时は0.1μm)
推荐流量10~200ℓ/min(各型号区别:参考流量特性曲线)
设计压力17MPa (2,465PSIG) at20℃本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。
常用压力1MPa(145PSIG)未满
最大容许差压9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
最高连续使用温度120℃
烘烤温度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化铝陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
连接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它

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