产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 其他设备 > 隔震台 >台式隔振台

台式隔振台

访问次数:94

更新日期:2021-06-02

简要描述:

日本特许机器tokkyokiki台式隔振台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
包括半导体行业在内的超精密加工领域的制造、检测和测量,正在将精密度深化到纳米和埃。这是一系列 OS 浮动办公桌,准确捕捉这些时代的需求,并为超微振动提供隔离空间。

台式隔振台

日本特许机器tokkyokiki台式隔振台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

 

包括半导体行业在内的超精密加工领域的制造、检测和测量,正在将精密度深化到纳米和埃。这是一系列 OS 浮动办公桌,准确捕捉这些时代的需求,并为超微振动提供隔离空间。
我们准备了支持更大直径的半导体和液晶基板、由于更大的底座而导致更大的检查设备和更重的产品阵容。
该系统可以通过与制造检测线和众多选项相匹配的简单设计进行精美配置。

 

EHS/DHS规范

针对超精密检查/测量设备的高性能防振台

EHS-68(带下搁板)

模型EHS-68EHS-78EHS-87EHS-107
隔振台外形尺寸
(W x D x Hmm)
600 x 800
x 750
700 x 800
x 750
800 x 700
x 750
1,000 x 700
x 750
产品重量(公斤)170190190220
允许安装重量(kg)120
隔振方式空气弹簧和摆球支撑系统(PAT .P / USP)
固有频率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
调平机械泡自动找平方式:供给压力0.4Mpa
浮动部分SUS304 抛光处理
选项工作罩、抗震固定支架、下搁板
其他可用于无尘室(带集中排气机构和防静电接地功能)
符合RoHS指令

 

台式隔振台 DHS

DHS 系列是在 EHS 系列上带有工作罩的型号。您可以工作而不必担心触摸浮动部分。

DHS-68(带下搁板)

模型DHS-68DHS-78DHS-87DHS-107
隔振台外形尺寸
(W x D x Hmm)
650 x 850
x 750
750 x 850
x 750
850 x 750
x 750
1,050 x 750
x 750
产品重量(公斤)175195195225
允许安装重量(kg)120
隔振方式空气弹簧和摆球支撑系统(PAT .P / USP)
固有频率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
调平机械泡自动找平方式:供给压力0.4Mpa
浮动部分SUS304 抛光处理
选项抗震固定支架,下搁板
其他可用于无尘室(带集中排气机构和防静电接地功能)
符合RoHS指令

日本特许机器tokkyokiki台式隔振台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

DAS/SRD/SVD规格

台式隔振台DAS

兼容光学显微镜/粗糙度仪等大负载

DAS-68(带下层架)

模型DAS-68DAS-78DAS-87DAS-107
隔振台外形尺寸
(W x D x Hmm)
650 x 850
x 750
750 x 850
x 750
850 x 750
x 750
1,050 x 750
x 750
产品重量(公斤)180200200230
允许安装重量(kg)200
隔振方式空气弹簧
固有频率 (Hz)纵横2.0-3.0
调平机械泡自动找平方式:供给压力0.4Mpa
浮动部分SUS304 抛光处理
选项抗震固定支架,下搁板
其他可用于无尘室(带集中排气机构和防静电接地功能)
符合RoHS指令

 

台式隔振台 SRD/SVD

配备测量显微镜/粗糙度仪等。

SVDA (wing, Saidodesu
click (ED), monitor stand, mouse
scan / with keyboard stage)

模型SRDASVDASRDC直流电源SRDR
隔振台外形尺寸
(W x D x Hmm)
590 x 720
x 715
770 x 720
x 715
590 x 720
x 715
770 x 720
x 715
590 x 720
x 715
产品重量(公斤)701057010570
允许安装重量(kg)12020012020045
隔振方式空气弹簧特制橡胶弹簧垫
固有频率 (Hz)纵横2.0-3.0垂直和水平 8.0 到 12.0
调平机械泡自动找平方式:供给压力0.4Mpa手泵补水手动调节特制橡胶弹簧垫
浮动部分SPCC(三聚氰胺树脂涂层)
选项侧翼、侧桌 (ED) ED、显示器支架、鼠标/键盘支架

关于台式隔振台的使用:如果安装设备的重心位置超过短边标示尺寸的1/2高度。

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
联系方式
  • 电话

  • 传真

在线交流