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日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in

访问次数:229

更新日期:2022-07-22

简要描述:

日本shinkuu φ300mm Pt 镀膜机MSP-12in
配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法,当涂层电压为 500V 或更低时,可减少离子损伤。

日本shinkuu φ300mm  Pt 镀膜机MSP-12in

日本shinkuu φ300mm  Pt 镀膜机MSP-12in

配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法,当涂层电压为 500V 或更低时,可减少离子损伤。
从脱气到大气气体引入和涂层的全自动操作,具有自动涂层功能。
配备前滑动式样品台,可轻松放入和取出样品。如果安装 Ag 靶材,则可以轻松进行透明薄膜等光泽处理。


12in 型和 12S 型取决于涂层区域!

MSP-12in
靶材的直径为 12 英寸(直径 300 毫米),均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。它适用于大面积涂层和大量样品的涂层。

MSP-12S
靶电极的 尺寸为直径 50 mm。当您想要对大面积样品(例如 12 英寸晶圆)的一部分进行镀膜时,可移动靶非常有用。通过缩小电极尺寸可以降低运行成本。此外,无需破碎大晶片。

日本shinkuu φ300mm  Pt 镀膜机MSP-12in


主要产品规格

物品规格
电源单相AC100V15A 3芯插头带地线
设备尺寸宽 450 毫米,深 440 毫米,高 427 毫米
(设备重量 30 公斤)
旋转泵G-101D 宽 234 mm,深 500 mm,高 264 mm
重量 25 kg
涂装室尺寸内径 330 毫米,高度 80 毫米
目标电极尺寸直径300mm
样品台直径300mm




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