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日本advance riko风冷桌面型快速退火炉 热风炉

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更新日期:2024-03-22

简要描述:

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆,复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉 热风炉

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

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用途

  • 晶圆,复合晶圆的快速加热

  • 光化学气相沉积衬底加热

  • 热循环测试

  • 涂膜的耐热性评估

  • 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

  • 50°C / s快加热

  • 可在真空,惰性气体,流动气氛,空气的气氛下进行加热

  • 精确的温度控制

  • 紧凑的台式设计

仕様

控温范围RT ~ 700 °C
样品尺寸□ 或φ20mm x 2mm (T)
加热气氛真空,静态气氛,流动气氛,空气


日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

用途

  • 晶圆,复合晶圆的快速加热

  • 光化学气相沉积衬底加热

  • 热循环测试

  • 涂膜的耐热性评估

  • 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

  • 50°C / s快加热

  • 可在真空,惰性气体,流动气氛,空气的气氛下进行加热

  • 精确的温度控制

  • 紧凑的台式设计

仕様

控温范围RT ~ 700 °C
样品尺寸□ 或φ20mm x 2mm (T)
加热气氛真空,静态气氛,流动气氛,空气


日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR



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