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更新日期：2024-03-19
简要描述：
日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ直流溅射类别中系列中z小的超紧凑机型配备皮拉尼真空计，以确保成膜条件的可重复性配备手动百叶窗作为标准装备
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ
特征
直流溅射类别中系列中z小的超紧凑机型
配备皮拉尼真空计，以确保成膜条件的可重复性
配备手动百叶窗作为标准装备
使用专yong的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
由于可以涂钨，因此也可以用于制备高分辨率SEM的样品。
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
日本sanyu electron台式快速涂布机SC系列SC-701MkⅡ
基本规格
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/平板型电极 |
| 适用对象 | 金/铂/金-钯/铂-钯/银/钯/钨/镍/钼/铬/钛/铝 |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 | 针阀手动控制 引入直径外径φ6mm一键式安装 |
| 工艺气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 直联式旋转泵：20L / min（带自动泄漏） |
| 箱体尺寸 | 内径φ90×D90mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身体：9公斤RP：9公斤 |
