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日本ace半导体自动调节压力控制器

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更新日期:2021-05-06

简要描述:

日本ace半导体自动调节压力控制器AP160M
AP160M是一种控制器,可根据半导体制造过程中使用的气体,通过自动控制比例电磁阀的开度来自动调节管道中的压力。由于它具有内置压力传感器,因此无需添加外部传感器。

日本ace半导体自动调节压力控制器
测量范围1MPa

日本ace半导体自动调节压力控制器AP160M

半导体自动调节器非常适合从低真空到高真空的真空工艺设备

AP160M是一种控制器,可根据半导体制造过程中使用的气体,通过自动控制比例电磁阀的开度来自动调节管道中的压力。由于它具有内置压力传感器,因此无需添加外部传感器。

最大控制压力约为650kPa,最大控制流速为100kPa压差,有两种接触类型,即500cc / min和3000cc / min。通过通过脉冲宽度调制来控制比例电磁阀,AP160M模型可以提高响应度并消除滞后现象,因此可以在大约1秒钟内达到设定压力。

压力b型接头是1/4“ VCR等效产品,气体接触部分和压力传感器均由金属制成,并且与惰性气体,腐蚀性气体,危险气体等所有气体兼容。除了半导体工艺气体以外,也是可能的。

日本ace半导体自动调节压力控制器AP160M

规格

模型AP160M
主要用途对于半导体
目标气体半导体工艺气体就座气体
入口压力500kPa以下
耐压小于1000kPa
压力设定需要计算机等输入的压力设定值
控制方式比例电磁纸浆批发
控制压力0-500kPa
最大流量当压差为100 kPa时,有两种类型,即500 cc / min和3000 cc / min。
响应时间1秒钟达到设定值
输入信号0 ?? 5VDC连续/关闭
R485
外部传感器输入(4 ?? 20A可能)
输出信号报警输出RS485.0-5VDC
管件1/4〃VCR等效
阀座泄漏10-6Pa ・ m3 /秒以下
准确性±5kPa(在800kPaFS时)
电源电压24VDC±10%
目前的消费200mA以下
工作温度0-50℃无凝结
面之间的外部尺寸宽36×深46×高60mm
压力传感器是(内置)
显示设定装置没有装备

 

 

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