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腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器

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更新日期:2021-05-08

简要描述:

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列
半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。

腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器
类型数字压力表

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此,我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-601系列。

  • 高耐腐蚀性
    对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体,气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®,并进行了电解研磨处理,充分发挥了其 出色的耐腐蚀性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直线性、滞后性、重复精度的影响造成和最优拟合线的最大偏差为±0.25%,具备高精度和高可靠性。
  • 测定范围宽
    表压的压力范围从0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),绝对压的压力范围为0~2,586torr。
  • 使用寿命长
    各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。

日本pureron腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器PC-601系列

规格

 

型号 表压※绝对压
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
压力范围KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
torr------0~7760~1,2930~2,586
精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

 

※所有的表压类型可以连成。

 

过载压力全量程×2
激励电源电压DC 5V(MAX 6V)
保存温度范围-20℃~93℃(未通电)
温度补偿范围-1℃~71℃
温度漂移±0.05% FS/℃
信号输出100mV(20mV/V) ※25G ・50Gは、50mV(10mV/V)
跨度100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV
偏移量0mV ± 10mV
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec
气体(液体)接触部分哈司特镍合金®
连接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

 

 

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