valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

发布日期：2023-03-22      浏览次数：452

valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

管理各种压力（供气/排气、大气压回流、泄漏、清洁）、真空压力和各种成型载荷（表面、抛光、装配）。

各种设备的压力监控（例如蚀刻/CVD等）




• 1供气压力监测

• 2确认燃气面板管道泄漏

• 3确认真空到达腔室

• 4确认腔室内恢复到大气压

• 5检查涡轮泵切换的真空压力

• 6废气处理设备压力监测

压力传感器

• VSST（SF/RR/WT/WF）

• HS1/HV1

• VSHS/VSHT

• VCCP

指示器

• 缤彩 F3 （过程输入）

• VSM3B

• VMM7（进程输入）

• VMM6（进程输入）

纯水压力监测



压力传感器

• VESV/VESI

• 维西姆□□A

• VPRF （过程输出）

指示器

• 缤彩 F8 （过程输入）

• VSM3B

• VMM7（进程输入）

• VMM6（进程输入）

半导体前端工艺抛光期间的负载控制



负荷

• VLS

• VLSS-C

指示器

• 华彩F3（应变片输入）

• VGM

• VGM2A/B

后处理成型期间的负载监控



负荷

• VLC-G811

• VLC-G510A

• VU93

指示器

• 华彩F3（应变片输入）

• VGM

• VGM2A/B

• VGM4

各种圆盘表面抛光期间的负载控制



负荷

• VLS

• VLSS-C

指示器

• 华彩F3（应变片输入）

• VGM

• VGM2A/B

各种电子元件的压力负载监控



负荷

• VLC-G811

• VLC-G510A

• VU93

指示器

• VLGM4

• VGM

• VMM7 （应变片输入）

• VMM6 （应变片输入）