光学干涉式内周面精密测量机

日本Adamant Namiki光学干涉式内周面精密测量机nano PROFILER

以前看不见的毛孔内周面的可视化现在成为可能！同时非接触式测量内径、圆度、划痕等。

目前，航空航天设备的燃油喷嘴、医疗设备的中空零件、分析仪的精密喷嘴、流体轴承等精密孔加工零件得到广泛应用，评估内周面的重要性正在迅速提高。...
内径较大的零件可以分别用内径测量机、圆度测量机和粗糙度/形状测量机进行测量和评估，但对于气孔，零件不分成两半。无法测量.

我们开发了NMH-02纳米轮廓仪，这是一种内周面测量机，通过使用近红外光的光干涉，可以“可视化以前不可见的孔的内周面” 。

通过安装我们小的Φ0.9mm电机，采用我们的半透明标准管方法的特殊探头，以及我们的倾斜校正计算算法，（1）小测量内径Φ1.1mm（2）内径/圆度/同时形状测量 (3) 重复测量精度 σ = 0.2 μm (4) 实现免设置测量的新概念测量机。可以说是我公司的具有超小直径电机技术和光通信技术的产品。

可以观察和测量气孔的内周面，同时可以同时测量必须使用测量机单独测量的内径、圆度、粗糙度和形状. 由于可以测量，测量时间可以从约30分钟/工时显着缩短至约30秒/工，大大有助于客户测量吞吐量的提高。

特征

• 孔的内径和圆度可以从Φ1.1mm的小内径开始测量。
• 高精度测量，重复测量精度为 0.2 μm
• 免设置测量：通过原始算法处理自动修正工件倾斜度
• 测量时间：传统测量机30分钟→本测量机30秒（内径/圆度/形状同时测量）

日本Adamant Namiki光学干涉式内周面精密测量机nano PROFILER

光干涉式内周面精密测量机 测量原理

1. 来自宽带光源（SLD *）的输出光（近红外光）是具有宽波长范围的光。
   * SLD：Super Luminescent Diode 一种宽带和相位对齐的光源。
2. 由于石英管表面反射的光和工件内周面反射的光之间的光路长度不同，因此会发生光干涉。由电机旋转的扫描镜会受到旋转系统的振动影响，但以固定的石英管为参考可以消除振动的影响。
3. 用分光镜对每个波长的干涉光进行分离，得到各波长的光强（光谱干涉法）。
4. 获得的波形通过软件进行分析计算，测量尺寸、形状、标准等，并以3D形式显示。