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日本shinkuu全自动φ100mm金属镀膜设备

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更新日期:2022-07-22

简要描述:

日本shinkuu全自动φ100mm金属镀膜设备MSP-20MT
该装置是在电子显微镜样品上涂敷贵金属薄膜并进行导电处理的装置。配备4英寸靶材,可在大样品上镀膜,具有无需复杂操作程序的可操作性。

日本shinkuu全自动φ100mm金属镀膜设备

日本shinkuu全自动φ100mm金属镀膜设备MSP-20MT

该装置是在电子显微镜样品上涂敷贵金属薄膜并进行导电处理的装置。配备4英寸靶材,可在大样品上镀膜,具有无需复杂操作程序的可操作性。

日本shinkuu全自动φ100mm金属镀膜设备MSP-20MT

主要产品规格

物品规格
电源AC100V,15A
3芯插头带地线
设备机身尺寸宽 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米
(设备重量 20 公斤)
旋转泵排气速度50ℓ/min (GLD-051)
(重量14.6kg)
样品室尺寸内径 149 毫米 x 高 82 毫米(硬玻璃)
电极样品台间距50mm
样品台Φ100mm
可安装的样品尺寸> Φ100mm(可安装尺寸Φ130mm)
高度35mm
飞溅靶金属规格Φ100 mm(有效直径98 mm),厚度0.1 mm
Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag
大气气体Air(空气)或 Ar(氩气)



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