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nasgiken微量金属污染物采样设备SC-3100

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更新日期:2024-03-26

简要描述:

nasgiken微量金属污染物采样设备SC-3100
通过与计算机联机,可选择丰富多样的采样模式,对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。

nasgiken微量金属污染物采样设备SC-3100
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nasgiken微量金属污染物采样设备SC-3100

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SC-3100
●通过与计算机联机,可选择丰富多样的采样模式,对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
●因为不太需要外部资源,也不太占地方,易于导入。
●采样操作由设备自动完成,无需熟练工就可轻松完成采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作,与SC-2000相比,可以减少由操作员引起的污染。

SC-8100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻,另外,还可以对非重金属离子进行采样。
●当然,也可以进行传统的憎水采样操作。

SC-9100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态,以及采样液种类的采样限制,本设备有所突破,另外,也可以对非重金属离子进行采样。
●当然,也可以进行常规的憎水采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作,与SC-8100相比,可以减少由操作员引起的污染。

nasgiken微量金属污染物采样设备SC-3100


设备名称SC-3100SC-8100SC-9100
操作控制电脑(※3)
支架具的装/卸自动手动自动
采样液的供给自动手动自动
采样液的回收自动(※1)手动自动
采样基本模式圆环形、扇形、固定半径、圆弧
采样追加模式(※1)端面、弧形、长方形
晶圆排片(※2)对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项
吸取式采样
亲水面采样
外形尺寸(WxDxH)(mm)630×550×600600×550×700630×550×790
重量35Kg40Kg50Kg
安装环境无尘通风柜内
所需外部资源电源(100~240VAC)、
纯净水、干洁气源
电源(100~240VAC)、
N2、干洁气源
电源(100~240VAC)、
纯净水、N2、干洁气源

※1,2: 追加项目需要另外计费,另外,对于亲水状态的晶圆,不能进行端面采样,谨请谅解。
※3:配置电脑需要另外计费。



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