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日本sanyu electron台式快速涂布机

访问次数:56

更新日期:2021-03-15

简要描述:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT
排气→涂层(蚀刻)→全自动,直到进入大气
尽管是紧凑型,但仍可以进行膜厚控制(简单型)
全自动溅射设备,操作简便,重现性高

日本sanyu electron台式快速涂布机

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT

 

特征

 

  • 排气→涂层(蚀刻)→全自动,直到进入大气
  • 尽管是紧凑型,但仍可以进行膜厚控制(简单型)
  • 全自动溅射设备,操作简便,重现性高
  • 配备涂层/蚀刻模式

应用/结果示例

 

  • 各种设备的电极膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的应用

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701AT

基本规格

 

阴极φ2英寸/ 2极面对电极
溅射靶包含金靶
蚀刻目标包括Al目标
膜厚设定方法预设方法/带膜厚监视器的数字显示
气体导入机制针阀
真空泵直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏)
排气操作自动的
箱体尺寸内径φ120mm x D120 mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
尺寸(宽/深/高)主体:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身体:15公斤
RP:9公斤

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