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日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

访问次数:104

更新日期:2021-03-15

简要描述:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC
使用磁控管阴极以减少离子损伤
排气→涂层→全自动,直到进入大气
磁控管阴极有助于生产高质量的溅射薄膜

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC

特征

 

  • 使用磁控管阴极以减少离子损伤
  • 排气→涂层→全自动,直到进入大气
  • 磁控管阴极有助于生产高质量的溅射薄膜
  • 电极的溅射薄膜可以很容易地涂覆

应用/结果示例

 

  • 各种设备的电极膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的应用

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MC 

基本规格

 

阴极φ2英寸直流磁控管/ 2极面对电极
目标包含金靶
膜厚设定方法预设方法/带膜厚监视器的数字显示
气体导入机制针阀
真空泵直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏)
排气操作自动的
箱体尺寸内径φ120mm x D120 mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
尺寸(宽/深/高)主体:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身体:15公斤
RP:9公斤

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