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日本sanyu electron台式快速涂布机

访问次数:73

更新日期:2021-03-15

简要描述:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ
支持W(钨)/ Ni(镍)/ Cr(铬)/ Ti(钛)等成膜的DC溅射设备。
使用磁控管阴极
内置微型计算机对成膜过程进行高精度控制

日本sanyu electron台式快速涂布机

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ

 

特征

 

  • 支持W(钨)/ Ni(镍)/ Cr(铬)/ Ti(钛)等成膜的DC溅射设备。
  • 使用磁控管阴极
  • 内置微型计算机对成膜过程进行高精度控制
  • 操作方式为全自动/手动两种模式
  • 标配自动快门机构

应用/结果示例

 

  • W / Ni / Cr / Ti等的成膜
  • 燃料电池基础实验

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ

基本规格

 

阴极φ2英寸磁控管阴极
快门机制自动/手动操作
气体导入机制针阀(自动/手动控制)
真空泵直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏)
箱体尺寸内径φ160mmx D160mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
尺寸(宽/深/高)机身:
360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm
重量身体:20公斤
RP:23公斤

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