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日本sanyu electron台式快速涂布机

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更新日期:2021-03-15

简要描述:

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
离子溅射设备,用于大型基材的全涂层
溅射靶材的尺寸为1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形成微通道流动路径以及溅射薄膜制造时支持PDMS表面处理

日本sanyu electron台式快速涂布机

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列

 

特征

 

  • 离子溅射设备,用于大型基材的全涂层
  • 溅射靶材的尺寸为1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
  • 在形成微通道流动路径以及溅射薄膜制造时支持PDMS表面处理
  • 配备涂布模式/蚀刻模式

应用/结果示例

 

  • 各种设备的电极膜附件
  • 反光膜的制造应用
  • 样品表面亲水处理的应用(蚀刻模式)
  • PDMS表面处理应用程序(蚀刻模式)等

日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列

基本规格

 

阴极φ4-8英寸/ 2极电极
溅射电流
蚀刻电流
0-50mA(包括电流表)
溅射电压
蚀刻电压
0.8 / 1.4kV
气体导入机制针阀
真空泵直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏)
箱体尺寸内径φ240mmx D240mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
样本量z大φ4〜8英寸
尺寸(宽/深/高)主体:282/450 / 440mm
RP:460/175 / 265mm
重量身体:约20kg
RP:23kg

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