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3D 表面形状测量系统

访问次数:98

更新日期:2021-06-16

简要描述:

日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D
它是一个使用白光干涉技术的系统,可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样品,涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能,并且比传统产品更紧凑、更便宜。

3D 表面形状测量系统

日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D

它是一个使用白光干涉技术的系统,可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样品,涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能,并且比传统产品更紧凑、更便宜。
各种测量模式,包括适合高精度测量微米级台阶和形状的垂直扫描干涉测量法 (WLI) 和适合测量纳米级形状和粗糙度的相移干涉测量法 (PSI)。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备,包括用于放大物镜的左轮、自动载物台以及便于操作、分析和管理测量数据的软件。

主要特点

  • 低价!
    在配备所有必要功能的同时实现低价
  • 纳米级高分辨率
    采用相移干涉法实现高分辨率
  • 全标准设备
    XY自动载物台,手动左轮,自动光强调节,自动对焦功能
  • 紧凑的外壳
    主体的占地面积为 30 x 30 cm 的紧凑设计。
  • 配备 WLI 和 PSI 两种测量模式 一台设备即可
    测量台阶测量和粗糙度测量
  • 操作
    简单 基本操作只是简单的鼠标操作
  • 符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
    国际标准 ISO25178
  • 可扩展性
    多种物镜选择,数据拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D

主要应用

半导体晶圆凸块、CMP焊盘等
医疗领域注射针、人工关节、支架等
安装板铜线、凸点、透镜等

测量规格

 垂直扫描白光干涉测量法 (WLI)相移干涉测量 (PSI)
测量范围50 纳米 – 10 毫米0 – 3 微米
准确性0.7%——
再现性0.1%——
反射范围0.05% – 100%0.05% – 100%


设备规格

XY自动载物台100mm x 100mm
Z轴驱动范围100mm
压电驱动范围500微米
扫描速度12微米/秒
相机2592 x 1944(500 万像素)
体重15公斤
 

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