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台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S

访问次数:65

更新日期:2021-06-24

简要描述:

日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
不易受温度变化的影响
可以生产用于研究和检查的离线式和在制造过程中使用的在线式。
反射型允许从薄膜的一侧进行测量
仅可测量透明涂膜层(取决于测量条件)

台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
类型数字式测量范围1

日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S

 

产品特点
  • 实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
  • 不易受温度变化的影响
  • 可以生产用于研究和检查的离线式和在制造过程中使用的在线式。
  • 反射型允许从薄膜的一侧进行测量
  • 仅可测量透明涂膜层(取决于测量条件)
  • 模型飞行时间
    测量方法非接触式/光谱干涉式
    测量对象电子和光学用透明平滑膜、多层膜
    测量原理光谱干扰型
    日本YAMABUN山文电气台式离线分光干涉式测厚仪TOF-S
  • 产品规格
    测量厚度1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料)    
    测量长度50-5000 毫米
    测量间距1 毫米 ~
    最小显示值0.001微米
    电源电压AC100 V 50/60 Hz
    工作温度限制5~45℃(测量时温度变化1℃以内)
    湿度35-80%(无冷凝)
    测量区域φ0.6 毫米
    测量间隙约 30 毫米

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