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日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列

访问次数:213

更新日期:2022-06-22

简要描述:

日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列
本产品是一种换能器型多离子真空计,可连接不同量程的测量头。
在将常规方法的多种原理集成到一个外壳中的复杂真空计中,“一根测针需要*更换测针"、“测针复杂易出故障"、“一根测针"。我经常听到客户反馈,例如“贵"。

日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列

日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列

本产品是一种换能器型多离子真空计,可连接不同量程的测量头。
在将常规方法的多种原理集成到一个外壳中的复杂真空计中,“一根测针需要*更换测针"、“测针复杂易出故障"、“一根测针"。我经常听到客户反馈,例如“贵"。
采用这种方法,可以进行宽带测量,显着降低运行成本,并支持低环境负荷。

GMi系列的特点

  • 广域测量可以测量
    从大气压到高真空区域(10 5至 5 × 10 -8 Pa)(同时使用 GPM 和 GAM 时)。

  • 可连接不同量程
    的测针,采用多离子规,可根据应用选择测针。

  • 准确的大气压测量
    可以轻松准确地确认大气压(使用 GAM 时)

  • 支持低环境负荷
    由于可以根据需要仅更换触控笔,因此可以降低运行成本。


  • 配备可检查异常情况的 LED,以提高可视性


  • 易于更换可维护的触控笔

  • 各模式规格(组合模式)
    GMi+GPM(离子规+皮拉尼规)
    GMi+GPM+GAM(离子规+皮拉尼规+气压传感器)

  • 测量值输出信号
    压力为0~10V输出(Log输出)

  • 控制输出信号
    设定点 3 点输出是可能的 (GMi-1)

  • 串行通信规格
    RS232C / RS485 通信是可能的(GMi-2)

  • 符合标准 符合
    CE 标准

利用

  • 用于太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等各种制造设备的高真空区域的工艺控制

  • 在线式、单晶片式等多工艺室的各种制造设备的高真空区域的极限压力确认

  • 高真空/超高真空设备的压力测量

日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列

规格

模型GMi-1GMi-2
规格标准规格串行通信规格
自适应多离子规传感器M34 (NW16), M35 (NW25)
可以连接传感器 多离子规 传感器:1 个
皮拉尼规 GPM:1 个(可选)
大气压力传感器 GAM:1 个(可选)
采样时间70 毫秒 4 个移动平均线
测量值输出输出电压 DC 0 至 10 V,Log 输出 0.75 V / 1 位
压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P -2) P = 10 ^ {(V --7.25) / 0.75 + 2}
* 用于设定点调整也可用作(仅 GMi-1)的输出电源
更新时间50 毫秒
控制输入信号FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF
集电极开路输入,负逻辑

* FIL ON / OFF 信号的使用方法因模式而异。

――――
控制输出信号传感器错误,设定点1/2/3
排放Ballid
灯丝电源监控
额定值:24 VMAX,50 mAMAX,
饱和电压 1 V
――――
串行通信规格――――RS232C / RS485
LED显示屏POWER / ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态取决于每种模式)
FIL:发射球 LED
SET1:设定点1 LED
SET2:设定点 2 LED
SET3:设定点 3 LED
――――
发射电流1 mA(1 x 10 -3 Pa 或更小),10 µA
脱气电子冲击解吸法(电子轰击)1 mA,330 V
传感器耐压2 x 10 5 Pa(绝对压力) * 法兰和卡箍的承受压力需要单独考虑。
传感器内部容积34 厘米3 (M34)
工作温度限制10-50℃
工作湿度范围15-80%(但无冷凝)
贮存温度-20~65℃(不通电时不结露)
知识产权保护等级IP30
电源电压DC 20-28 V(纹波、噪声 1% 或更低) 19 W 或更低(电源打开时为 156 W)
输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺丝)
大量的控制器:约 530 克,BA 触控笔(M34):63 克
外形尺寸 W x D x H (mm)144 x 75 x 62 或更小(控制器部分)
符合标准行政长官
选项POWER / ERROR:多离子规传感器M34 (NW16), M35 (NW25)
材质:灯丝 1 lr / Y 2 O 3涂层,灯丝 2 W(钨)
其他 Pt C Mo, SUS, W
皮拉尼规SPU
皮拉尼规传感器WP-16 (NW16)
材质:灯丝 Pt、其他 BS / Ni、电镀、镍、焊料
气压传感器GAM (NW16) 材质:SUS316L
单元电缆GPM 为 0.5 毫米
GAM为 0.5 毫米
显示单元1 CH:ISG1 型(使用DC 24 V 电源)
4 CH:IM1R1 型(使用DC 24 V 电源)
            IM2R1 型(使用AC 100 V 电源)
显示电缆GMi 和显示单元之间的电缆
2 m、5 m、10 m、15 m


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