一台覆盖全真空区间｜日本 VISTA CC-10-NW25 一体式宽量程压力真空计

发布日期：2026-08-04      浏览次数：4

一、开篇导语

在真空腔体运维、半导体制程、光学镀膜、热处理真空炉、科研实验场景中，传统方案需要搭配皮拉尼粗真空计、热阴极1高真空规、大气压压力开关多支仪表组合监测，管路开孔多、布线繁杂、多点校准成本高、灯丝易烧毁故障频发。日本 VISTA 原装 CC-10-NW25 宽量程复合真空计，采用水晶振子 + 冷阴极离子规一体化复合传感结构，单一 KF-NW25 法兰接口，实现1×10⁻⁷Pa～1×10⁵Pa（大气压至超高真空）无断点连续自动测量，整机集成显示、继电器控制点、模拟量与数字通讯输出，一站式替代多规格真空仪表组合，是日系高1端真空设备标配级压力监测核心部件，原厂持续量产供货，无停产断供风险，适配新设备配套、老旧真空设备改造升级两大核心场景。

二、产品核心硬核优势（CC-10-NW25 法兰款）

1. 超宽量程无缝切换，单台搞定全流程真空监测

摒弃分段式真空计组合方案，设备从腔体破真空、粗抽、高真空抽到超高真空维持全工序，无需手动切换传感器。

• 大气压～1Pa 区间：高精度水晶振子传感器，对比传统皮拉尼、热电偶真空计，温漂更小、长期稳定性强，能大气压下读数精准，完1美适配腔体充气、破空阀联锁控制；

• 1Pa～10⁻⁷Pa 超高真空区间：冷阴极离子规，无高温灯丝结构，杜绝灯丝烧断、氧化损耗问题，耐油污、耐冲击、耐突发大气冲击，恶劣真空工况使用寿命远超热阴极规管。

  单一 NW25 真空接口接入腔体，即可完成全过程压力采集，减少腔体开孔、密封泄漏隐患，大幅降低真空腔体加工成本。

2. 一体式集成设计，接线安装极简，节省机柜空间

整机传感器、主控电路板、数码显示屏高度集成，仅需接入 DC24V 供电即可上电工作，开机自动识别真空区间、自动切换传感模式、实时压力数值直显：

• 标配 3 路独立继电器设定点输出：可直接联动粗抽泵、分子泵、挡板阀、破空阀自动逻辑控制，无需额外加装压力控制器；

• 信号输出齐全：0–10V 模拟量变送 + RS485 工业总线通讯，无缝对接 PLC、工控机、上位机数据采集；

• KF-NW25 标准快拆法兰：真空行业通用法兰规格，密封圈拆装便捷，兼容绝大多数真空腔体、管道标准接口，改造替换即装即用。

3. 坚固耐用，工况适应性拉满，维护门槛极低

1. 冷阴极无灯丝结构核心优势：无易损发热灯丝，面对腔体轻微返大气、工艺气体杂质、油气污染工况不易损坏，适合镀膜机、真空烧结炉、钎焊炉等重工艺场景长期连续运行；

2. 可烘烤适配：拆除电控模组后，传感腔体支持 150℃高温烘烤除气，满足超高真空腔体洁净工艺要求；

3. 免工具快速拆装维护：传感腔体 1 分钟即可拆解清洁、除垢、更换密封件，现场工程师可自主完成保养，无需返厂维修，停机维护时间大幅压缩；

4. 整机轻量化（不足 1kg），既可以固定腔体长期装配，也可搭配电源适配器作为便携式真空巡检仪表使用，设备点检、检漏现场随测随用。

4. 数字化拓展能力，适配工业 IoT 智能化升级

选配原厂 DS-10 外置数显表头、P-LOGGER 压力记录软件：

• 上位机实时压力曲线绘制、真空抽气曲线全程 CSV 存储归档；

• 支持 16 台 CC-10 组网集中监控，压力异常超限邮件告警；

• 真空设备运行数据可视化，用于制程工艺复盘、设备健康状态预判，适配半导体智能制造、自动化产线数字化改造需求。

5. 合规品质保障，日系原厂稳定供货

整机通过 CE、RoHS 环保认证，日本 VISTA 原厂定型量产型号，米思米日本现货常备，国内日系真空设备代理商稳定进口备货，区别于停产老旧真空计无配件窘境，长期备件、技术资料、原厂 TDS 规格书完整可查，设备生命周期售后无忧。

三、核心技术规格（CC-10-NW25）

表格

项目	参数详情
测量量程	1×10⁻⁷ Pa ～ 1×10⁵ Pa（大气压至超高真空全域）
传感结构	水晶振子（粗真空段）+ 冷阴极离子规（高真空段）复合式
安装法兰	KF NW25 标准真空法兰
供电电压	DC24V
本地显示	机身集成数码压力显示屏
开关控制点	3 组可编程继电器触点
模拟输出	0–10V DC 线性压力输出
数字通讯	RS485（Modbus 协议适配）
烘烤温度	腔体最高 150℃（拆卸电路部分）
整机重量	约 0.95kg
执行标准	CE 认证、RoHS 合规

四、主流行业应用场景

1. 半导体晶圆制程设备

晶圆溅射、刻蚀腔体、真空清洗机、薄膜沉积设备腔体真空闭环监测，精准控制工艺真空阈值，保障镀膜均匀性、良率稳定，依托 RS485 总线接入半导体设备上位机系统，实现工艺参数全链路追溯。

2. 光学真空镀膜行业

手机镜头、光学镜片、装饰镀膜、AR/VR 镜片蒸镀机，腔体破空、预抽、工艺真空分段联锁控制，冷阴极传感器耐受镀膜粉尘、蒸发气体污染，减少规管频繁更换成本。

3. 工业热处理真空设备

真空钎焊炉、真空退火炉、烧结炉、渗碳真空炉，高温炉膛全程压力监控，继电器直接联动真空泵组启停，避免炉膛氧化、脱碳报废，适配高温重载工业炉长期连续作业。

4. 科研实验室与精密测试设备

超高真空实验腔体、电子束设备、检漏测试平台、材料表征真空腔体，单仪表实现从大气到超高真空全过程数据记录，搭配数据记录软件完成实验曲线留存。

5. 老旧真空设备技改替换

进口日系真空设备（ULVAC、ANELVA 等机型）老旧多支真空计改造，直接替换原有多点位传感器，腔体只保留一处 NW25 接口，简化管路、线路布局，降低设备故障率与备件库存种类。

五、选型价值总结

1. 降本：1 台 CC-10-NW25 替代粗真空计 + 高真空规 + 压力开关 3 套仪表，硬件采购、腔体加工、布线成本直接缩减；

2. 增效：无灯丝易损件，维护周期延长 3–5 倍，快速拆装保养减少产线停机；

3. 省心：全自动量程切换，无需人工干预压力监测，联锁控制稳定可靠；

4. 适配广：标准 NW25 法兰 + 标准化信号输出，新机配套、旧机改造双向适配；

5. 供货稳：原厂现役主力型号，无停产风险，长期备件与技术服务有保障。