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半导体超纯水保安过滤套装,FTECH 滤芯滤壳适配性与性能介绍

  • 发布日期:2026-08-05      浏览次数:32
    • 日本 FTECH(フィルテック),日本精密折叠滤芯、滤壳专业厂商,主打半导体高纯药液、超纯水、精细化工、电子化学品精密过滤,全部滤芯在无尘车间成型、热熔粘接无胶水析出、出厂 100% 泡点 / 完整性检测,适配高洁净度工艺工况。
      FTECH全系滤芯滤壳总成
      image
      FNGR滤芯+FSSA滤壳装配图
       

      一、FNGR-005-18EK、FNGR-010-18EK 折叠式精密滤芯解析

      1. 型号分段释义(FTECH 命名规则)

      型号分段 FNGR 005/010 18 EK
      定义 折叠滤芯基础系列 过滤精度:0.5μm / 1.0μm 滤芯长度 18 英寸 端部密封结构:222 翅片型 O 型圈(适配 FSSA 滤壳标准接口)
      核心结论:
      • FNGR-005-18EK:18 英寸折叠滤芯,绝对过滤精度0.5μm,222 翅片端头密封

      • FNGR-010-18EK:18 英寸折叠滤芯,绝对过滤精度1.0μm,222 翅片端头密封

      2. 核心结构与材质(设计)

      1. 滤材主体:梯度层聚丙烯(PP)折叠滤材,热熔热封成型,无粘接剂,杜绝胶水溶出、纤维脱落,适配半导体、光刻胶、超纯水等高纯度流体过滤。

      2. 梯度孔隙结构:外层大孔隙预截留杂质,内层精密筛分,纳污容量提升 40%,压差爬升慢、使用寿命更长。

      3. 骨架结构:内外聚丙烯支撑笼,耐压抗形变,可承受正向 / 小幅反向冲洗。

      4. 端头密封 EK:222 凸翅 O 型圈密封,和 FSSA 滤壳内腔刀口精准咬合,无侧漏旁路,保障标称过滤精度。

      5. 外形尺寸:外径 83mm(FTECH 大流量款,对比 70mm 滤芯过滤面积 + 150%),总长 18 英寸,匹配 FSSA-11N0A50 单芯滤壳安装腔。

      3. 关键性能参数(原厂标称)

      • 过滤精度:FNGR005=0.5μm(绝对精度)、FNGR010=1.0μm(绝对精度)

      • 最高工作温度:80℃(PP 材质)

      • 最大工作压力:0.4MPa(正向),允许 0.2MPa 反向冲洗

      • 适配流体:超纯水、IPA 异丙醇、光刻配套药液、酸碱蚀刻液、清洗剂、纯水制程

      • 洁净等级:无尘室生产,可直接用于 UPW 超纯水终端、半导体湿制程前道过滤

      4. 两款滤芯定位差异 & 选型逻辑

      1. FNGR-005-18EK(0.5μm)
         
        定位:终端精密终滤
         
        用于超纯水终端、化学品精滤、光刻药水末端保护、阀门 / 喷嘴前置防护,拦截细微胶体、树脂颗粒、研磨碎屑,保护后端精密设备与晶圆良率。
      2. FNGR-010-18EK(1.0μm)
         
        定位:前置保安预滤
         
        作为粗滤缓冲,拦截大颗粒杂质、管路铁锈、絮凝物,保护后端 0.5μm 精密滤芯,降低高品质滤芯更换频次,整体过滤系统运维成本下降。

      5. 产品核心优势

      • 低析出:全热熔结构,满足半导体、制药低 TOC、低离子析出要求;

      • 大通量:83mm 大直径褶皱结构,同等压差下流量显著优于普通熔喷滤芯;

      • 完整性可控:出厂逐支泡点测试,精度一致性稳定,适合工艺连续性生产;

      • 兼容通用性:222 端头可直接替换 Pall、3M、日本无机同规格折叠滤芯。

      二、FSSA-11N0A50 过滤器外壳(滤壳)解析

      1. 型号拆解(FTECH 滤壳命名规则)

      FSSA:单芯立式不锈钢滤壳系列
       
      11:适配滤芯长度规格(对应 18 英寸滤芯安装位)
       
      N:接口形式(NPT 内螺纹进出口)
       
      0A:腔体结构(标准单芯直立腔体)
       
      50:公称进出口口径 50A(2 寸管路接口)

      2. 结构材质与工艺

      1. 主体材质:SUS316L 不锈钢,内腔电解抛光(Ra≤0.8μm),无1死角、易 CIP 在位清洗,耐酸碱腐蚀,适配电子化学品腐蚀性工况。

      2. 密封配置:顶部翻盖 V 型卡箍快开结构,配备 EPDM 标准密封圈,可选 FKM/Viton 氟橡胶适配强溶剂。

      3. 功能接口:顶部排气阀、底部排污阀、侧壁压力表取压口,便于排气、排污、压差监测,判断滤芯堵塞状态。

      4. 安装适配:内腔刀口密封座,精准匹配 FNGR-EK 系列 222 翅片滤芯,滤芯竖直吊装安装,拆装仅需松开顶部卡箍,维护便捷。

      FSSA滤壳内部密封腔结构
       

      3. 工况额定参数

      • 设计压力:1.0MPa,常规使用 0.3~0.6MPa

      • 使用温度:-10℃~90℃

      • 适配滤芯:单支 18 英寸 83mm 外径 222 端头折叠滤芯(即 FNGR 两款标配滤芯)

      • 连接方式:进出口 2 寸 NPT 螺纹,可转法兰、卫生级卡盘

      • 适用场景:单机独立过滤支路、设备端机侧过滤、小型产线过滤单元

      4. 滤壳产品亮点

      1. 洁净腔体设计:电解抛光内壁无残留死角,药液无滞留,适合高纯化学品连续生产;

      2. 快开维护:V 型抱箍无需工具快速开盖,滤芯更换时长缩短 60%;

      3. 集成监测点位:预留压力表接口,实时监测滤芯前后压差,实现定压差更换滤芯,避免过度更换或失效运行;

      4. 耐化通用性:316L 壳体兼容酸、碱、醇类、酮类绝大多数电子制程溶剂。

      三、整套总成(滤芯 + 滤壳)组合应用方案

      1. 标准成套配置

      前置预滤:FSSA-11N0A50 + FNGR-010-18EK(1μm)
       
      后端精滤:FSSA-11N0A50 + FNGR-005-18EK(0.5μm)
       
      两级串联构成完整保安过滤单元。

      2. 主流应用场景

      1. 半导体晶圆湿制程:刻蚀液、剥离液、显影液、IPA 清洗液循环过滤;

      2. 超纯水 UPW 系统:RO 后端、EDI 终端抛光前保安过滤;

      3. 面板显示行业:光刻胶、显影液、剥离剂循环过滤;

      4. 精密电子清洗:工业清洗剂、去离子水终端过滤;

      5. 精细化工 / 医药:高纯溶剂、原料药溶液精密过滤。

      3. 成套使用价值

      1. 原厂滤芯 + 滤壳匹配,密封零旁路,过滤精度 100% 发挥;

      2. 梯度过滤延长精密滤芯寿命,降低耗材采购成本;

      3. 不锈钢滤壳可长期重复使用,仅定期更换内部滤芯,固定资产投入性价比高;

      4. 洁净构造适配无尘车间严苛生产环境,无二次污染风险。

      四、竞品对标与替换说明

      1. 滤芯对标:Pall Profile II、3M Betapure、日本无机 NIPPON MUKI 折叠滤芯,同精度、同尺寸可直接互换;

      2. 滤壳对标:Pall 单芯不锈钢滤壳、Entegris 精密滤壳,FTECH 整套总成价格更具优势,日系交期稳定;

      3. 替换注意:如需替换其他品牌滤芯,必须选用 222 翅片端头 18 英寸 83mm 外径折叠滤芯,保证密封适配。

      五、总结

      FNGR-005-18EK(0.5μm 精滤)、FNGR-010-18EK(1.0μm 预滤)为 FTECH 经典大流量聚丙烯折叠滤芯,依托热熔无析出、大纳污量特性适配高品质洁净流体过滤;FSSA-11N0A50 是专属配套 316L 不锈钢单芯滤壳,快开、易清洗、耐压耐化。二者成套是半导体、电子化学品、超纯水工艺成熟的紧凑型精密过滤解决方案,兼顾过滤稳定性、运维便捷性与长期使用成本优势。

       

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