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日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

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更新日期:2022-10-17

简要描述:

日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1
可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
此外,该真空计消除了传统控制器(传感器单元)的操作和显示部件,并将其缩小到低限度的必要功能,从而实现了“降低成本"和“节省空间"。

日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

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可以测量从大气压到5×10M -2 Pa的宽范围的皮拉尼真空计。
此外,该真空计消除了传统控制器(传感器单元)的操作和显示部件,并将其缩小到低限度的必要功能,从而实现了“降低成本"和“节省空间"。

特征

  • 广域测量:可进行从大气压到5×10 -2 Pa 的广域测量

  • 提高耐冲击性:高耐冲击性设计结构

  • 出色的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度都在±20%以内

  • 灯丝材料/铂(Pt):耐腐蚀铂用作灯丝材料。

  • 提高可视性:配备用于检查异常的 LED

  • 可一键调节:可一键调节气压和调零。

  • 可维护性:易于更换手写笔

  • 适用测针扩展:除NW16/25规格外,还增加了Φ15/18规格、对角法兰规格、锥螺纹R1/8规格。

  • 测量值输出信号:0 至 10 V 压力日志输出为标准设备

  • 控制输出信号:可输出2个设定点(SW1-1)

  • 串行通信规格:可进行RS-232C/RS-485通信(SW1-2)

  • 符合标准:兼容CE标准

运用

  • 太阳能电池、FPD、半导体、电子元件等的制造

  • 用于设备低真空区域的过程控制

  • 用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制

  • 在线型和单晶片型等具有许多工艺室的各种类型

  • 用于制造设备低真空区域的过程控制

  • 适用于各种有振动和冲击的真空排气管路

日本ulvac换能器类型皮拉尼真空计SW1-1

规格

模型SW1-1SW1-2
可连接触控笔
适用触控笔SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S( ASME BPE 卫生型 1")
测量压力范围5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa(Pa(显示范围:1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa)
测量精度*1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±10%
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa, 1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa : ±20%
可重复性1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±2%
采样时间50ms 5次移动平均处理
测量值输出输出电压 DC 0~10V
压力指示(对数输出) 1.7V ~ 8.0V 1V/位(输出范围:1.0V ~ 8.1V)
(更新时间) 50ms
控制输入信号集电极开路输入,负逻辑-
ADJ调节(零位调节、气压调节)-
控制输出信号

集电极开路输出,
负逻辑 [Rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

-
错误信号-
设定点 1、2-
设定值监视器设定点 1、2:0-10V 日志输出-
串行通信规范-RS232C/RS485
LED显示屏POWER/ERROR:电源,错误指示灯
SET-1:设定点 1 LED-
SET-2:设定点 2 LED-
灯丝材料
工作温度限制10~40℃
工作湿度范围15~80%(无冷凝)
知识产权保护等级IP30(传感器单元)
安装姿势没有限制
电源电压DC18V~30V,2W(通电时4.8W)
输入/输出连接器D-sub15-pin (M2.6mm螺丝) 传感器单元侧
大量的150g(含 SWP-16)
尺寸(电源)WxDxH70mm×46mm×28mm
配件快速手册
选项

I/O连接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺丝))、检验报告、通用校准测试报告、JCSS校准证书

显示:ISG1(1ch)、IM1R1/IM2R1(4ch)-


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