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日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

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更新日期:2022-10-18

简要描述:

日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E
这是一个新系列的换能器类型“G-TRAN 系列多离子规",可以连接不同测量范围的触针。本产品为三极管电离真空计,不易失去灵敏度,即使在真空计的恶劣环境下也能进行更长时间、更准确的真空测量。

日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

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这是一个新系列的换能器类型“G-TRAN 系列多离子规",可以连接不同测量范围的触针。本产品为三极管电离真空计,不易失去灵敏度,即使在真空计的恶劣环境下也能进行更长时间、更准确的真空测量。在继承长寿命、低运行成本的理念的同时,我们进行了改进,使其更加人性化。

特征

  • 提高可用性:PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。

  • 灯丝寿命通知功能:灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命

  • 可连接不同量程的接点:采用多离子规,可根据应用选择接点。

  • 紧凑:比传统产品小得多(控制器体积减少 56%),最小的级别

  • 扩充产品阵容:除了模拟输出规格(ST200-A)和串行通信规格(ST200-R)之外,还将增加EtherCAT规格(ST200-E)

  • 世界三极管型金属电离真空计:真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命

  • 压力测量范围广:可测量从大气压到高真空范围(1×10 +5至 1×10 -5 Pa)(连接选购件 SWU10-R 时)

  • 精确的大气压测量:可以检查腔室开口的大气压(连接可选单元 SAU 时)

用途

  • 用于有机EL、触控面板等制造设备的极限压力确认和过程控制

  • 用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力

  • 用于在含有许多碳氢化合物(油基)的大气中进行测量

  • 用于在真空部件加工过程中残留切削油或清洁液的环境中进行测量

  • 用于希望减少更换真空计测针频率的真空设备

日本ulvac热阴极电离真空计 ST200-A/R/E

规格

模型ST200-AST200-RST200-E(即将发布)
规格标准规格串行通信规范EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
可连接传感器多离子规传感器:1 个
皮拉尼规 SWU10-R:1 个(选项)
大气压传感器 SAU:1 个(选项)
重复性 (N 2 )ST200 独立模式:±2%
采样时间60ms 5次移动平均处理
测量值输出输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位
压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间60毫秒
控制输入信号使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
集电极开路输入、负逻辑运行
--
控制输出信号传感器错误,设定点 1/2/3,发射有效,
灯丝功率监控
额定值:24V MAX,50mA MAX,饱和电压 1V
--
串行通信规范-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示屏POWER/ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化)
发射电流2mA(1×10 -2 Pa以下)、10μA(1×10 -2 Pa以上)
脱气电子轰击法,发射电流2mA,栅极电压约330V
传感器耐压2×10 +5 Pa(绝对压力) *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。
传感器内部容积17cm3  SWT-16)、19cm3  SWT-25)
工作温度限制10 至 50°C
工作湿度范围15 至 80%(无冷凝)
贮存温度-20 至 65°C(未通电时无冷凝)
知识产权保护等级IP30
电源电压20 至 28 VDC(纹波、噪声 1% 或更低)
8W以下
输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺丝)
大量的控制器:约 280g 触控笔(SWT-16、SWT-25):80g
尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm(控制器部分)
符合标准行政长官
选项



多离子计传感器SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25)
材质:灯丝:Ir/Y 2 O 3涂层
其他:PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/镍镀层
皮拉尼规SWU10-R *也兼容传统 SPU
皮拉尼压力传感器SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034)
材质: 灯丝 - Pt, 其他 - BS/Ni, 电镀, Ni, 焊料
大气压传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
单元电缆GUC-200P(SWU用):0.5m、1m、2m 
GUC-200A(SAU用):0.5m、1m、2m
显示单元1CH:ISG1(使用DC24V供电)
显示单元电缆SH200 和显示单元之间的电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器输入/输出连接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺丝))
其他检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书






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