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日本ulvac冷阴极电离真空计 SC1

访问次数:166

更新日期:2022-10-18

简要描述:

日本ulvac冷阴极电离真空计 SC1
G-TRAN系列是基于(1)降低设备成本、(2)节省空间、(3)节省布线的概念开发的真空计,用于集中过程控制和各种设备的小型化。它由传感器单元和显示单元的基本单元组成,可以根据应用进行组合。

日本ulvac冷阴极电离真空计 SC1

日本ulvac冷阴极电离真空计 SC1

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G-TRAN系列是基于(1)降低设备成本、(2)节省空间、(3)节省布线的概念开发的真空计,用于集中过程控制和各种设备的小型化。
它由传感器单元和显示单元的基本单元组成,可以根据应用进行组合。

特征

  • 探头与测量电路一体化结构

  • 模拟输出和设定值输出

  • 独立的伪对数输出和设定值输出(显示单元)

  • 采用 48 x 96mm DIN 标准尺寸(显示单元)

用途

  • 用于半导体和电子零件等各种制造设备的过程控制

  • 用于熔炉等各种工业设备的过程控制

  • 用于在线式和单晶片式等具有许多工艺室的各种制造设备的工艺控制

日本ulvac冷阴极电离真空计 SC1

规格

类型传感器单元
模型SC1
自适应探头C-21、23、24、25
测量压力范围1.0×10 -5至 1.0 Pa
测量精度+100%,-50%(1.0×10 -4到 1.0×10 -1
工作温度限制10~40℃
测量值输出非线性输出:DC0V 至 10V(HV-OFF 时为 10V)
SETPOINT1/2 调整输出非线性输出:0 至 10V DC
控制输入信号高压开/关
输出信号集电极开路,负逻辑
控制输出信号放电确认/设定点 1/2
LED显示屏功率、高压、压力保护、设定点 1/2
电源DC24V±2V, 150mA
输入/输出连接器D-sub-15 针(M2.6 螺丝)
身体质量430g(不含触控笔)
配件输入/输出连接器 1套
1份快速手册


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