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日本napson薄层电阻4探针法测量仪RT70V系列

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更新日期:2020-11-16

简要描述:

日本napson薄层电阻4探针法测量仪RT70V系列
它是测量仪(RT-70V)和测量台的组合测量仪。

日本napson薄层电阻4探针法测量仪RT70V系列

日本napson薄层电阻4探针法测量仪RT70V系列

 

产品特点

它是测量仪(RT-70V)和测量台的组合测量仪。

<测量仪:RT-70V>

  • 使用JOG拨盘,厚度,温度,PN输入(RT-70V测试仪),易于操作
  • 自检功能,自动量程切换,4种测量模式
  • 具有厚度/温度补偿功能(用于硅)

<测量阶段>

*根据目的和用途,可以从以下选择测量阶段。

  • (1)RG-7C  [产品图片左上]:电机自动上下探针台
  • (2)RG-5   [产品图像左下方] 带手动手柄的探针上下平台
  • (3)RG-7S [产品图片右上]:用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台 
  • (4)TS-7D [产品图像右下] 便捷的探头类型*平台板是可选的。

测量规格

测量目标

  • 半导体/太阳能电池相关材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
  • 导电薄膜相关(金属,ITO等)
  • 扩散样本
  • 硅基外延离子注入样品
  • 其他(*请与我们联xi)

测量尺寸

*组合测量取决于舞台类型。

圆形:〜300毫米(12英寸),正方形:〜730x920毫米,可以广泛使用。

测量范围

[电阻(电阻率)]1μ〜300kΩ・ cm
[板电阻] 5m〜10MΩ/ sq

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