日本tekhne SF6气体露点仪MBW973-SF6系列

日本tekhne SF6气体露点仪MBW973-SF6系列

特性

• 抽查

• 
  

• SF6气体露点管理

• 气体变压器/气体断路器

• 气体绝缘开关

• 半导体和液晶面板的干法蚀刻工艺

• SF6气体回收与再循环

主要用途

• SF6纯度/变压器/气体断路器的露点测量

日本tekhne SF6气体露点仪MBW973-SF6系列

特点

环保测量仪

SF6（六氟化硫）气体是一种温室气体，其减排目标是由《京都议定书》设定的，据说其温室效应约为每单位体积CO 2的23,400倍。SF6气体在断路器/变压器和半导体工艺中用作绝缘气体，因此必须测量水分和SF6纯度以保持其绝缘性。
另一方面，迄今为止，在日本，在测量时将其释放到大气中，或者在不释放的情况下以高成本进行收集和分解是很普遍的。通过使用MBW973-SF6，可以将测得的SF6气体返回到原始设备而不会释放到大气中，并且可以将向大气中的排放减少到零。

高精度测量

到目前为止，由于电容类型易于获取，因此通常被使用。另一方面，MBW973-SF6的露点和纯度测量均采用高精度镜型，因此可以分别以±0.5°C和0.5％的精度进行高精度测量，响应速度快，随时间的推移几乎没有劣化。是。通过使用该装置，可以大大减少操作者的工作时间，并且可以容易地进行可靠的测量。

SO 2测量选项

SF6气体通过与水反应来净化HF气体和SO 2气体。MBW973-SF6可以测量0至100ppm或0至500ppm范围内的SO 2。该传感器使用电化学电池，可以满量程±2％的精度进行测量。