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ekhne 静电电容式露点计选型手册:型号参数、核心优势及典型工况

  • 发布日期:2026-01-17      浏览次数:7
    • 日本 tekhne 静电式露点计以静电电容式陶瓷传感器为核心,核心型号涵盖 TK - 100 系列、TE - 660 系列及 TKZH 系列,覆盖在线、便携、壁挂等多种应用场景,适配从超低露点到常规湿度的测量需求,广泛用于半导体、锂电、气体处理等工业领域。以下是详细型号、特点及运用分析:

      核心型号与关键参数对比表

      型号系列代表型号测量范围精度核心特点典型应用
      TK - 100 在线TK - 100TR- 100℃dp 至 + 20℃dp±2℃dp陶瓷传感器,宽温压适配,4-20mA 输出,抗污染半导体工艺气、锂电池干燥房、天然气输送
      TK - 100 便携NK - 2、YN 型- 100℃dp 至 + 20℃dp±2℃dp轻量化,长续航,快速响应,适配 - 50℃dp 以下抽查SF6 绝缘气体、手套箱抽检、现场巡检
      TE - 660 手持TE - 660HD- 60℃dp 至 + 20℃dp±2℃dp高分子传感器,90% 响应快(低湿段≤5min,高湿段≤15s),自动校准压缩空气干燥机、气体发生器、恒温室
      TKZH 壁挂TKZH003- 100℃dp 至 + 20℃dp±2℃dp壁挂安装,集成显示,适合固定点长期监测热处理炉、洁净室、实验室气体站
      TKZH 带泵TKZH004/005- 100℃dp 至 + 20℃dp±2℃dp内置抽吸泵,带过滤器 / 针阀 / 流量计,适配无压环境炉内 / 罐内气氛抽查、密闭空间气体分析

      各系列深度解析

      1. TK - 100 系列(在线 + 便携,工业核心主力)

      • 核心优势:静电电容式陶瓷传感器,在 - 100℃dp 超低露点区间稳定性突出,耐受 10⁻⁴Pa - 30MPa 压力与 - 20℃ - 60℃介质温度,适合严苛工业工况。

      • 在线型(TK - 100TR):12-28VDC 供电,4-20mA 信号接入 DCS,支持连续监测工艺气体纯度,如半导体 CVD 用高纯氮 / 氢,锂电池干燥房露点预警,天然气管道防腐蚀冰堵。

      • 便携型(NK - 2/YN):NK - 2 优化低湿响应,适配 SF6 断路器水分检测;YN 型侧重现场快速巡检,长续航满足移动测量需求,常用于设备维护与应急抽检。

      2. TE - 660 系列(手持快速检测)

      • 核心优势:高分子薄膜电容传感器,兼顾响应速度与易用性,内置自动校准功能,降低维护成本,建议每 2 年校准一次。

      • 典型场景:压缩空气干燥机出口露点管理,氧气 / 氮气发生器纯度监控,恒温室环境露点控制,实验室手套箱快速验证,适配中低露点(-60℃dp 至 + 20℃dp)的常规工业场景。

      3. TKZH 系列(壁挂 + 带泵,固定点 / 无压测量)

      • 壁挂型(TKZH003):集成显示与报警,适合洁净室、热处理炉等固定区域长期监测,实时反馈环境湿度,保障工艺稳定性。

      • 带泵型(TKZH004/005):内置泵解决无压 / 低压气体采样难题,搭配流控组件,适配炉内气氛、储罐气体等密闭空间的周期性抽查,无需额外采样设备。


      核心技术原理与选型逻辑

      1. 测量原理:静电电容式通过陶瓷 / 高分子薄膜吸附水分子改变介电常数,转化为电容信号计算露点;陶瓷传感器适配超低湿,高分子传感器兼顾中低湿响应速度。

      2. 选型要点

        • 超低露点(<-50℃dp):优先 TK - 100 在线 / 便携(陶瓷传感器)。

        • 中低露点 + 快速巡检:选 TE - 660 手持(响应快,操作便捷)。

        • 固定点长期监测:TKZH003 壁挂(集成显示,免频繁维护)。

        • 无压 / 密闭空间:TKZH004/005 带泵型(主动抽吸采样)。


      典型行业应用案例

      1. 半导体制造:TK - 100TR 监测 CVD / 蚀刻用高纯气体(N₂、H₂、Ar),将水分控制在 ppb 级,降低晶圆氧化与缺陷率,4-20mA 信号接入中1央控制系统实现实时预警。

      2. 锂电池生产:TK - 100 在线部署于干燥房 / 电解液车间,维持露点≤-40℃dp,避免水分导致的电池鼓包、容量衰减等问题,提升产品一致性。

      3. 电力设备:NK - 2 便携型检测 SF6 断路器绝缘气体水分,防止绝缘性能下降与设备击穿,保障电网安全。

      4. 气体处理:TE - 660HD 用于空分设备、吸附式干燥机出口露点管理,确保压缩空气 / 工业气体达标,降低设备腐蚀风险。


      维护与校准建议

      1. 定期校准:建议每 6 个月(在线)/2 年(手持),采用 NIST 可追溯标准进行校准,遵循 ISO/IEC17025 规范。

      2. 日常维护:检查传感器密封性与过滤器状态,避免油污、粉尘、腐蚀性气体污染探头,延长使用寿命。


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