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日本TEKHNE在线露点计TK-100在半导体设备制造中的应用优势

  • 发布日期:2025-09-16      浏览次数:11
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      在半导体制造领域,对生产环境的严格控制是保证产品质量的关键。其中,湿度管理更是重中之重,任何微小的水分波动都可能导致产品缺陷甚至批量报废。

      日本TEKHNE的TK-100在线露点计凭借其性能和可靠性,成为了半导体制造设备中湿度监测的理想选择。

      01 半导体制造对湿度控制的严苛要求

      半导体制造过程对环境湿度有着极为严格的要求。生产环境中的水分含量会直接影响氧化层生长、薄膜沉积、光刻工艺等关键工序的质量。

      露点控制不当会导致晶圆表面产生缺陷、降低产品良率。TEKHNE TK-100露点计能够提供-100至+20°C dp的宽泛测量范围和±2°C dp的高精度,满足半导体制造的需求

      该设备采用静电容量式原理,这种技术能够快速响应并准确测量露点,确保及时发现任何可能影响生产质量的湿度变化

      02 TK-100在半导体制造中的多重应用

      TK-100露点计在半导体制造设备中有着多种关键应用。它在手套箱中的露点管理、检查烘干机的露点、热处理炉的气氛控制等方面表现出色

      在洁净室和干燥室的露点管理方面,TK-100能够提供持续稳定的监测数据,帮助维持生产环境的高度稳定性

      该设备还用于气体纯度控制,特别是测量各种气体如N2和Ar的露点,确保半导体工艺所用气体的质量符合要求

      03 设备自身的技术优势突出

      TK-100露点计的核心优势在于其采用了先进的陶瓷传感器技术和微处理器技术

      每个传感器的特性都记录在变送器中,实际测量的传感器输出由传感器温度计进行温度补偿,使露点值线性输出。这种设计保证了每个传感器的兼容性和测量一致性

      TK-100还具备高响应速度的特点,特别是在低于-50°C的露点环境下,其干燥室系统能够显著加快响应速度

      便携式NK-I型号相比前代产品,重量减轻了一半,尺寸减少了三分之一,电池寿命却延长了三倍,大大改善了基本性能

      04 精准采样与系统集成简便

      TK-100在线露点仪的采样设计极为简便。用户可以直接将其安装在管道或测量环境中,或者采用旁路方式,安装过滤器、传感器块和流量计进行采样

      这种灵活的安装方式使得TK-100能够适应各种半导体制造场景的需求,从大型设备到小型密闭空间都能轻松应对。

      设备提供完整的系统解决方案,包括TK-100变送器、监视器和传感器电缆的一套完整系统,用户可以轻松开始测量露点

      05 品质与技术支持体系

      TEKHNE作为一家有着40年经验的湿度管理和测量设备专业厂商,为TK-100露点计提供了全面支持系统

      所有TK-100产品均具有可追溯至国家标准的校准,确保测量结果的准确性和可靠性

      通过执行日本制造、生产线和校准的所有过程,TEKHNE在保证产品质量的同时,还将价格控制在易于引入的范围内,适合各种规模的半导体制造企业

      TK-100露点计的高精度测量和快速响应特性,使其能实时监测半导体制造设备中的湿度变化,防止因水分含量异常导致的产品缺陷

      其陶瓷传感器技术和微处理器温度补偿技术确保了在不同环境条件下的测量稳定性,这对于全天候运行的半导体生产线至关重要

      TK-100系列不仅适合固定安装,其便携式设计也让技术人员能够灵活检测不同设备的露点情况,大大提升了维护效率


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