氮化铝中加工直孔 (t=450μm)技术分析

发布日期：2022-11-25      浏览次数：413

氮化铝中加工直孔 (t=450μm)技术分析

在Spectronics，我们也专注于直孔加工，以响应许多客户对加工规格的要求。

作为皮秒激光微细加工的靶材，我们成功地在被认为比较厚的 450 μm 氮化铝上钻了一个几乎直的孔。

虽然它仍处于开发阶段的光学工具，但已被证明对无锥度加工有效。未来，我们希望进行验证，以便将其用作生产工具。

加工验证详情
◇靶材
　：氮化铝（ALN） 厚度：450μm 颜色：浅棕色
◇二手激光振荡器
　LDH-G0610（532nm/15ps/6W@200kHz）
◇加工光学系统
　原装光束旋转器和电扫描光学系统（f = 46mm)
　理论光斑尺寸 Φ12.45μm
◇ 调整照射方式
　相位角，将钻孔后基材侧的截面设置为直线状
◇ 结果
　照射侧孔径 181.97μm 出射
　侧孔径 181.25μm
　加工时间 56sec /孔洞
◇ 加工后样图