磁控离子溅射仪MSP-1S的检测示例分析

　　磁控离子溅射仪MSP-1S的检测示例分析

　　Au：金
　　观察区域：几千到10,000倍
　　Au-Pd：金钯
　　观察区域：10,000到50,000倍
　　适合低倍观察，对比度好。
 

　　Pt：铂
　　观察面积：50000～100000倍
　　Pt--Pd：铂钯
　　观察面积：30000～50000倍
　　粒径细，常用于高倍观察。
 
　　相关产品特点
 
　　●磁控型溅射，采用较低外加电压减轻样品的离子损伤。
 
　　●真空度调节：适合磁控离子溅射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通 过机械泵抽泣与泄露阀漏气的平衡，使样品仓自动保持在适合的真空度范围内，不需要手动做压力调整。
 
　　●浮动样品台设计：样品台是浮动型并与样机电机绝缘，可让电子 不通过样品而使温度上升很少。
 
　　●占地面积：台式设计，内置机械泵，只需要有 20cm×40cm 的占 地面积，重量只有 14.6Kg。