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sena 目视检查高强度照明器介绍
SENA Superbeam 是一种用于晶圆、透镜和玻璃基板表面检测的照明设备，汇集了 30 多年的专业知识。 通过采用的透镜和专用灯，使照射区域的照度保持均匀，可以获得强而稳定的光线。
在半导体前端制造过程中，化学和机械力结合作用使表面平滑的CMP（化学机械平面化）工艺有时会导致诸如裂纹和划痕缺陷之类的表面损坏。为了有效地解决这一风险，需要对表面纯度和平面度进行非破坏性，非接触式，波长敏感的视觉检查。研华提供的机器视觉整体解决方案涵盖工业级图像传感器，高级计算，多核处理器和VisionNavi应用软件，这是一种基于用户友好的基于流程图的界面，可以简化开发和部署，分支和循环功能，先进的视觉应用程序，并通过全局快门支持多种任务和摄像机，以提供精确而高效的半导体生产。
用途
晶圆表面质量检查
液晶滤光片和彩色滤光片检查
玻璃镜片表面划痕和异物检查
硅玻璃表面划痕和异物检查
光掩膜表面划痕和异物检查
胶片表面划痕和异物检查
陶瓷表面检查
金属表面（铝、不锈钢、铜等）
触摸屏表面检查
汽车油漆质量
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