Autocrater抛光机的原理分析

发布日期：2023-11-15      浏览次数：240

Autocrater抛光机的原理分析

Autocrater可以通过用旋转的钢球抛光样品并使用光学显微镜测量抛光痕迹的长度来测量薄膜厚度。



■无需样品制备

无需进行切割、抛光或树脂嵌入等样品制备即可创建横截面。
可以按原样测量沉积的样品。

■可评估多层膜

各层的膜厚可以通过化学处理等改变膜的组成作为色调的差异来评价。

■应用实例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、电镀、这些的多层膜

本试验机根据磨痕长度测量结果，采用ISO20423《弧坑磨削法测定涂层厚度》中规定的计算方法计算涂层厚度。此外，为了用该测试仪测量薄膜厚度，您将需要一个单独的显微镜来测量抛光痕迹的长度。

测量原理及规格

首先，滴下金刚石浆料，并用旋转的钢球抛光样品表面。	接下来，观察创建的抛光痕迹并 测量上图中 X 和 Y 之间的距离。
	根据测量的长度 X 和 Y 以及用于抛光的球的半径，根据上式计算膜厚度。

●规格
◆轴转速：100～3,000rpm
◆可设定旋转时间：1秒～60分钟
◆最大样品尺寸：φ40mm

*可选配亚克力盖。

消耗品

金刚石浆料和球



日本球SUJ2材质	φ20mm
日本球SUJ2材质	φ30mm
金刚石浆料	粒径1.0μm（100cc）

*纯国产（日本制造）Nanotech制造

Autocrater 测量示例

TiN 涂层测试件

• 球直径：30 mm
• 电机转速：400 rpm
• 测试时间：30 秒
• 浆料类型：金刚石浆料 1.0 µm