专为半导体制造等高精度行业设计的露点仪TK-100

发布日期：2025-02-16      浏览次数：183

专为半导体制造等高精度行业设计的露点仪TK-100






TK-100是一款专为半导体制造等高精度行业设计的露点仪，主要用于监测和控制气体或环境中的水分含量。以下是TK-100的主要特点、技术参数和应用场景：

主要特点

1. 高精度测量

• TK-100采用先进的传感器技术，能够实现高精度的露点测量，确保半导体制造过程中的气体和环境湿度符合严格的要求。

2. 宽测量范围

• 该露点仪具有宽广的测量范围，通常覆盖从-100°C到+20°C的露点，适用于多种半导体制造工艺。

3. 快速响应时间

• TK-100具有快速的响应时间，能够实时监测气体或环境中的水分变化，确保及时调整和控制。

4. 抗污染能力强

• 在半导体制造环境中，可能存在各种化学污染物。TK-100设计有抗污染能力，能够在恶劣环境中稳定工作。

5. 易于集成

• TK-100支持多种通信协议，易于与现有的监控和控制系统集成，方便用户进行数据采集和分析。

6. 用户友好界面

• 该露点仪配备直观的用户界面，操作简单，便于用户进行设置和监控。

技术参数

• 测量范围：-100°C to +20°C 露点

• 精度：±2°C 露点

• 响应时间：<10秒（达到90%的最终读数）

• 工作温度：-20°C to +50°C

• 输出信号：4-20mA, RS485, Modbus RTU

• 电源供应：24VDC

• 防护等级：IP65

应用场景

1. 洁净室监控

• TK-100用于监测洁净室中的露点，确保环境湿度符合半导体制造的要求。

2. 气体纯度检测

• 在半导体制造过程中，使用的高纯度气体（如氮气、氩气）需要严格控制水分含量。TK-100用于检测这些气体的露点，确保其纯度。

3. 工艺气体监控

• 在薄膜沉积、蚀刻等关键工艺中，TK-100用于监控工艺气体的露点，防止水分影响产品质量。

4. 压缩空气系统

• 压缩空气中的水分会影响设备性能，TK-100用于监测并保持系统干燥。

5. 储存和运输

• 半导体材料和气体在储存和运输过程中需要保持干燥，TK-100用于监控环境条件。

优势

• 高可靠性：TK-100设计用于长时间稳定运行，减少维护需求。

• 多功能性：适用于多种气体和环境条件，具有广泛的应用范围。

• 易于维护：模块化设计使得传感器更换和校准变得简单方便。

总结

TK-100露点仪凭借其高精度、快速响应和抗污染能力，在半导体制造设备中发挥着重要作用。它能够有效监控和控制气体和环境中的水分含量，确保半导体制造过程的高质量和稳定性。