透明材料(如玻璃、光学塑料、晶体等)的残余应力和双折射效应直接影响其力学性能与光学质量。日本LuCEO公司推出的全自动应变仪LSM-9100W基于Senarmont偏振法,结合高精度RGB线性极化技术,可实现0-3000nm延迟量的二维全场测量,测量精度达1nm,并支持Ø150mm大尺寸样品的快速检测。本文详细介绍该仪器的技术原理、核心优势,并结合玻璃制造、光学元件加工及塑料注塑等行业的应用案例,分析其在质量控制与工艺优化中的关键作用。
关键词:应力分析、双折射、Senarmont法、全场测量、透明材料
透明材料在制造过程中因温度梯度、机械加工或固化收缩等因素会产生内部应力,进而导致双折射现象,影响光学均匀性(如透镜成像畸变)或机械强度(如玻璃自爆)。传统应力检测方法(如光弹法、激光干涉仪)通常存在测量范围有限、操作复杂或仅支持点测量等问题。LSM-9100W全自动应变仪通过创新的光学系统设计和大面积成像技术,实现了高精度、高效率的二维应力分布检测,为工业质量控制提供了新的解决方案。
LSM-9100W采用改进型Senarmont补偿法,结合RGB三波长(420-680nm)线性偏振光,通过检测样品引起的相位延迟(Δ)和慢轴方向(θ),计算双折射分布(Δn = Δ/d,d为样品厚度)。相较于传统单波长测量,多光谱分析可减少材料色散误差,提高数据可靠性。
高精度成像系统
1100×1100像素CCD配合高均匀性极化板,实现1nm级延迟分辨率和0.1°慢轴方向精度。
3D应力分布可视化功能,直观呈现样品边缘应力集中区域(如玻璃切割面)。
超发光LED光源
宽光谱LED替代传统激光光源,避免相干噪声,寿命达50,000小时,维护成本降低60%。
大样品兼容性
Ø150mm测量区域+160mm高度空间,支持曲面玻璃、注塑件等非平面样品的无损检测。
在汽车钢化玻璃生产中,LSM-9100W可快速扫描挡风玻璃全表面,检测压应力层深度(CS层)和边缘应力集中(图1)。某厂商通过该设备发现切割工艺导致的微裂纹区域延迟量异常(>1200nm),优化参数后不良率下降35%。
图1 钢化玻璃表面应力分布(3D视图)
(示例:边缘区域延迟量显著高于中心)
对于AR透镜用PMMA材料,注塑冷却不均会导致双折射(Δn>5×10⁻⁵)。LSM-9100W的实时测量功能可关联模具温度与延迟量数据,指导工艺调整。某案例显示,将模温误差控制在±1℃后,透镜延迟量从300nm降至80nm以下。
在光纤制造中,预制棒的双折射直接影响光纤的偏振模色散(PMD)。通过LSM-9100W的慢轴方向映射,可定位芯层不均匀区域(图2),确保PMD<0.1ps/√km,满足5G通信要求。
图2 光纤预制棒慢轴方向分布图
(示例:红色箭头指示高双折射缺陷区)
指标 | LSM-9100W | 手动补偿偏光仪 | 激光干涉仪 |
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测量范围 | 0-3000nm | 0-1000nm | 0-500nm |
精度 | ±1nm | ±10nm | ±0.5nm |
测量面积 | Ø150mm全场 | 单点扫描 | <Ø50mm |
适用场景 | 工业质检、工艺优化 | 实验室小样品检测 | 超薄光学膜检测 |
推荐LSM-9100W的场景:
需大批量检测玻璃/塑料制品的产线;
大尺寸或曲面样品的无损测量需求;
长期稳定性要求高的连续作业环境。
替代方案:
若仅需实验室小样品检测,可选用低成本手动偏光仪;
超精密光学元件(如光刻机透镜)建议补充干涉仪验证。
LSM-9100W全自动应变仪通过Senarmont偏振法与大面积成像技术的结合,实现了透明材料应力与双折射的高效、高精度检测。其在玻璃、光学塑料、光纤等行业的成功应用表明,该设备不仅能提升产品质量,还可为工艺优化提供数据支撑。未来,通过集成AI应力预测算法,有望进一步拓展其在智能制造中的应用价值。