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1. 产品概述
BA15-PSS 是一款即用型 4N级(99.99%)高纯α-氧化铝(α-Al₂O₃)水性浆料，专为 化学机械抛光(CMP)、精密涂层、高性能过滤及先进陶瓷 等领域设计。其纳米级单峰粒度分布(D50=0.11µm) 和 碱性水基体系(pH 9-10)，使其在半导体、电子元件及结构材料制造中表现出的工艺适应性和性能稳定性。
纯度达 99.99%，金属杂质(Na、K、Fe等)含量极低，避免半导体制造中的电学性能劣化或陶瓷烧结过程中的异常晶粒生长。
α-Al₂O₃ 是氧化铝稳定的晶相，具备：
高硬度(莫氏硬度9)，适用于耐磨涂层和切削陶瓷。
优异的热稳定性(熔点2050℃)，适合高温烧结工艺。
低热膨胀系数，减少涂层或陶瓷器件在热循环中的应力开裂风险。
D50=0.11µm，采用 Sedigraph 验证的窄单峰分布，确保：
CMP抛光 中减少表面划伤，提升平坦化效率。
陶瓷烧结 时颗粒堆积均匀，提高致密度(>99%理论密度)。
涂层工艺 中形成无缺陷的薄膜，增强结合强度。
无有机溶剂，符合 RoHS/REACH 法规，适用于绿色制造。
50%固含量 优化了流动性与成膜效率，1.6g/cm³ 密度便于精确计量。
适用对象：硅晶圆、蓝宝石衬底、光学玻璃等。
优势：
高纯度避免金属污染，提升芯片良率。
纳米颗粒实现 亚纳米级表面粗糙度(Ra<0.5nm)，满足先进制程(如3nm节点)需求。
应用：制备多孔陶瓷滤芯，用于半导体超纯水、高温气体除尘等。
机制：均匀粒径形成 0.1–1µm可控孔径，过滤效率>99.9%。
典型基材：金属模具、航空发动机部件、化工设备。
性能提升：
耐磨性：HV>2000，寿命延长3–5倍。
耐腐蚀性：耐受酸碱、高温氧化环境。
| 陶瓷类型 | 应用案例 | BA15-PSS 的贡献 |
| 电子陶瓷 | MLCC介质、陶瓷基板 | 高纯度保障介电损耗<0.001 |
| 结构陶瓷 | 陶瓷刀具、轴承、喷嘴 | α相高硬度提升抗磨损性能 |
4. 工艺适应性
烧结制度：≥1600℃ 可致密化，适合常压/热压烧结。
涂覆工艺：兼容喷涂、旋涂、浸渍，烧结后膜厚可控（1–50µm）。
CMP参数：推荐抛光压力2–5 psi，搭配氧化剂（如H₂O₂）使用。
BA15-PSS 凭借 “高纯+纳米α相” 组合，在制造领域具备不可替代性：
对比普通氧化铝浆料：更窄的粒度分布（D50<0.2µm vs. 工业级>0.5µm）和4N纯度，满足半导体、光学级应用需求。
对比有机溶剂型浆料：水性体系更环保，减少VOCs排放，符合ESG趋势。
BA15-PSS 是面向 高精度表面处理、高性能陶瓷及严苛环境防护涂层 的理想材料，其 纯度、粒度控制及α相稳定性 可为半导体、新能源、航空航天等领域提供关键材料解决方案。
目标客户：
CMP耗材供应商
精密陶瓷制造商
高涂层服务商
