tankenseal φ450mm兼容碳精吸盘介绍

发布日期：2025-05-09      浏览次数：40

φ450mm兼容

碳精密吸力机

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所有碳吸附杯的概述

●该真空吸附杯由碳材料组成，将多孔碳吸附剂与由高强度碳制成的结构组合在一起。
●硅晶片，bg胶带，模具固定膜和迪士胶带通过多孔材料吸附。
●平均孔径在5μm处良好，并且吸附标记不转移。
●中等节气门效应允许部分吸附。
●即使在恶劣的温度环境下，它也不会变形或破裂。
●由于它具有出色的电气性能，因此有效防止静电。

这是一个多孔的吸附杯，它充分利用了这些碳的特征。

 

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所有碳吸杯的功能

●晶圆预防

碳是一个很棒的指挥。
因为收费的可能性较小，所以工件被吸附时会扎根。
它是反对静电的对策，非常有效，非常适合吸附不喜欢静电的工件。
涂层（其他规格）使您可以将表面电阻调整为给定值。

材料	多孔碳	氧化铝	铝
电阻值（μω・M）	100	> 1x10 12	2.6 x 10 -2

 

●与高温环境兼容

通过制造由碳制成的所有零件材料，我们大程度地提高了碳的优秀热性能。
耐热温度在大气中为250°C，在惰性气体中为900°C。
它具有较高的耐热性，即使加热或淬火也不会破裂。
因为它是由相同材料制成的，所以由于热膨胀差异而导致的准确性不太可能发生，并且尺寸稳定性非常好。

 

●轻巧减轻了设备的负担

多孔碳的低密度为1.2g/cm3。
与陶瓷吸杯相比，它可以减轻重量约40％。
通过减轻重量，它不仅可以在设备设计中提供更多的自由度，而且
还通过简化组件为设备制造成本提供了更多好处。

材料	多孔碳	氧化铝	铝
通量密度（g/cm 3）	1.2	3.6	2.8

 

所有碳吸杯重量表

粘合表面尺寸（mm）	吸附杯厚度（mm）	重量（g）	图像
φ200	12	750
φ300	12	1580
φ450	20	5660