日本NGK半导体行业用陶瓷加热器产品介绍

发布日期：2025-05-12      浏览次数：71

它使用氮化铝（ALN），具有出色的导热率，并通过将其与电阻加热元件一起烧结，可以达到好的热均匀性，并且显着降低了金属污染的杂质。

特征

高热均匀性和广泛的温度支持

它使用ALN陶瓷，具有出色的导热率，可实现高温均匀性。

它也可以在温度范围（最高800°C）的范围内使用。




袖珍的

除了电阻加热元件外，散装的RF电极还可以整体烧结到陶瓷中。

您也可以将陶瓷轴直接粘合到陶瓷板上。




耐腐蚀性

它还在卤素气体和氧化气氛中表现出好的耐用性。

与晶圆吸附兼容

陶瓷板中的RF电极可用作静电Chuck电极，用于晶片吸附。

功能



规格

尺寸	与200mm，300mm和450mm晶片兼容
电源	100-200V x 15-50a
电极材料	将Ni Rod（电缆）连接到端子（低接头，螺钉固定）
加热器材料	Aln

Aln的材料特性

[典型价值]

		氮化铝
		HA-12	HA-37/38	HA-50/51
纯度	[％]	95	99	99
密度	[g/cc]	3.3	3.3	3.3
音量电阻率	[ωCM]（RT）	> 1E+15	1E+8〜+13	> 1E+15
导热率	[W/MK]（RT）	170	100	80
热扩展系统的数量	（RT）	5.7（1000℃）	5.6（1000℃）	5.6（1000℃）
力量	[MPA]（RT）	> 300	> 300	> 250
年轻的速度	[GPA]（RT）	300	300	300
介电常数	（13.56MHz，RT）	8.6	8.8	8.6

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静电Chuck

它表现出高强度，高热电导率和高热冲击性。 Nippon Gaishi的音量阻力控制技术可以容纳广泛的温度范围。

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各个部分

我们使用先进的制造技术提供各种零件形状，包括氮化铝和氧化铝陶瓷。

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