Spectronix皮秒激光振荡器凭借其高精度、多波长选择及工业级稳定性,广泛应用于材料加工、半导体微加工、精密切割等领域。以下从型号参数、应用场景、选型关键因素等维度,结合用户需求提供选型建议。
一、主要型号及技术参数对比
根据搜索结果,Spectronix皮秒激光器的核心型号及性能如下:
LDH-G0610
波长:532 nm(绿光)
平均功率:>6 W
脉冲宽度:<15 ps
应用:薄膜钻孔、薄层金属/陶瓷加工
特点:紧凑设计、高光束质量(M²<1.2)、水冷系统,适合低成本高精度场景。
LDH-G2510
波长:532 nm(绿光)
平均功率:>25 W
重复频率:200 kHz~1 MHz
脉冲宽度:<15 ps
应用:金属/陶瓷切割、蓝宝石玻璃钻孔、氮化铝加工
特点:高脉冲能量、两级固态放大器,支持高速加工,水冷+风冷混合冷却。
LDH-V1610
波长:355 nm(紫外)
平均功率:>16 W
应用:玻璃/树脂/陶瓷的精密钻孔与切割
特点:紫外波长对透明材料吸收率高,适合高精度微加工。
LFV-30104
波长:355 nm(紫外)
平均功率:>30 W
脉冲宽度:<15 ps
应用:深孔加工、光刻、半导体晶圆划片
特点:双放大器配置、脉冲分割模式,适用于高功率需求场景。
LFX-15108
波长:266 nm(深紫外)
平均功率:>15 W
应用:半导体透明材料处理、高精度光刻
特点:长期稳定性(>10,000小时),适合工业高频使用。
二、选型关键因素
材料类型与加工目标
金属/陶瓷:优先选择532 nm绿光(如LDH-G0610、LDH-G2510),因绿光对金属吸收率高且成本较低。
透明材料(玻璃、树脂):需紫外或深紫外波长(355 nm/266 nm),如LDH-V1610或LFX-15108,以提高能量吸收率并减少热损伤。
半导体/光刻:深紫外(266 nm)更适合高精度微加工,如LFX-15108。
加工精度与功率需求
高精度薄膜加工:低功率型号(如LDH-G0610)即可满足,避免过度烧蚀。
厚材料切割/高速加工:需高功率型号(如LDH-G2510、LFV-30104),支持高脉冲能量与快速重复频率。
系统兼容性与环境限制
冷却方式:高功率型号(如LFV-30104)需水冷系统,需预留冷却设备空间;低功率型号(如LDH-G0610)可简化冷却需求。
环境适应性:工作温度需控制在15~30°C,湿度10~85% RH,避免结露影响稳定性。
预算与维护成本
低成本需求:532 nm系列(如LDH-G0610)价格约2万~6万人民币,适合预算有限用户。
长期维护:深紫外型号(如LFX-15108)寿命长,适合高频工业场景,但初始投资较高。
三、典型应用场景推荐
金属切割与钻孔
推荐型号:LDH-G2510
理由:25 W高功率、532 nm绿光高效吸收,适用于氮化铝、氧化铝等硬质材料切割。
透明材料微加工
推荐型号:LDH-V1610(355 nm)
理由:紫外波长穿透性强,适合蓝宝石玻璃、钢化玻璃的钻孔与内部加工。
半导体晶圆划片
推荐型号:LFV-30104(355 nm)
理由:30 W功率配合脉冲分割模式,可优化SiC等高硬度材料的切割效率与质量。
实验室小规模加工
推荐型号:LDH-X0300(266 nm)
理由:2 W功率适合精密实验需求,成本低且操作灵活。
四、维护与技术支持
日常维护
冷却系统:定期检查水冷管路,防止堵塞或泄漏。
光学组件:清洁透镜与反射镜,避免灰尘影响光束质量。
技术支持渠道
通过供应商(如秋山科技)获取技术文档与售后服务。
五、总结
Spectronix皮秒激光器覆盖从绿光到深紫外的多波长选择,功率范围2 W至30 W,可满足不同材料与加工精度的需求。选型时需综合材料特性、加工目标、环境限制及预算,优先匹配波长与功率,并考虑长期维护成本。