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磁控离子溅射仪是电子显微镜（SEM/TEM）样品制备、半导体检测及材料研究的关键设备。日本Shinkuu（真空）系列溅射仪凭借高精度镀膜、多样化靶材支持以及不同型号适配各类应用场景，成为科研和工业领域的优选。以下为选型关键要点及推荐型号：
观察倍率需求
低倍率（1,000~10,000倍）：Au靶（金）或Au-Pd（金钯）镀膜，适用于常规SEM观察。
中高倍率（10,000~100,000倍）：Pt（铂）或Pt-Pd（铂钯）镀膜，颗粒更细，成像更清晰。
超高倍率（100,000倍以上）：W（钨）靶，粒径极细，适用于纳米级分辨率观察。
样品类型与尺寸
小型样品（SEM/TEM）：MSP-mini或MSP-1S，适用于φ30mm以下样品。
4英寸晶圆或大尺寸样品：MSP-20MT（4英寸）或MSP-200in/MSP-300in（8/12英寸晶圆）。
复杂结构样品（如生物样本）：需考虑Os（锇）镀膜机，因其优异的环绕性。
自动化与操作便捷性
一键式操作：MSP-mini、MSP-1S适合快速镀膜需求。
全自动功能：MSP-20UM（可编程自动镀膜）、MSP-40T（涡轮泵高真空自动沉积）。
真空系统与冷却方式
基础实验室：内置旋转泵（MSP-1S）。
高真空需求：涡轮分子泵（MSP-40T）。
防止样品热损伤：风冷磁控靶（MSP-20TK）。
| 型号 | 关键特点 | 适用场景 | 推荐靶材 |
|---|---|---|---|
| MSP-mini | 超小型设计，一键操作，低成本运行 | 光学显微镜（Ag）、台式SEM预处理 | Au（标准）、Ag（可选）35 |
| MSP-1S | 内置旋转泵，紧凑型，适合贵金属镀膜 | SEM样品（50,000倍以下） | Pt、Au、Au-Pd2 |
| MSP-20UM | 可调参数，倾斜旋转样品台，全自动镀膜 | 复杂形状样品、高精度SEM观察 | Pt、Pt-Pd、W1 |
| MSP-20TK | 专为钨溅射优化，支持超高分辨率SEM（100,000倍以上） | 纳米材料、高分辨电镜样品 | W（钨）1 |
| MSP-200in | 8英寸晶圆镀膜，提高检测效率 | 半导体制造、大面积样品 | Au、Pt、ITO1 |
| MSP-300in | 12英寸晶圆镀膜，工业级应用 | 集成电路（IC）检测 | 多种金属靶材1 |
| MSP-40T | 高性能实验室沉积，支持多种金属（Ti、Al、ITO等），涡轮泵高真 | 前沿研究、高纯度薄膜 | 多金属可选4 |
实验室常规SEM样品：MSP-1S（性价比高）或MSP-20UM（功能全面）。
超高分辨率观察：MSP-20TK（钨靶）或MSP-40T（多金属支持）。
半导体/晶圆镀膜：MSP-200in（8英寸）或MSP-300in（12英寸）。
快速简易操作：MSP-mini（超小型，一键镀膜）。
