以下是针对 266nm、355nm、532nm皮秒激光器 的全面对比分析及选型建议,基于不同波长激光器的技术参数、应用场景和性能特点进行整理:
波长 | 材料吸收特性 | 典型应用场景 |
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266nm(DUV) | 高吸收率(玻璃、聚合物、半导体) | 半导体晶圆检测、透明材料微加工、精密雕刻 |
355nm(UV) | 中等吸收率(金属、陶瓷、塑料) | 高精度微钻孔、薄膜加工、3D打印 |
532nm(Green) | 较低吸收率(金属、陶瓷、部分塑料) | 金属标记、陶瓷切割、高效工业加工 |
关键差异:
266nm 适用于高精度、低热影响加工(如半导体、光学玻璃)。
355nm 平衡了精度与功率,适合微细结构加工(如PCB钻孔)。
532nm 适用于高功率、高效率加工(如金属切割、打标)。
型号 | 波长 | 功率 | 脉冲宽度 | 重复频率 | 峰值功率 | 冷却方式 | 典型应用 |
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LFX-15108 | 266nm | 15W | <15ps | 800kHz–1MHz | >2MW | 水冷+风冷 | 半导体、透明材料加工1 |
LFV-28104 | 355nm | 28W | <15ps | 200kHz–1MHz | >1.4MW | 水冷+风冷 | 高精度UV微加工1 |
LDH-G2510 | 532nm | 25W | <15ps | 200kHz–1MHz | >1.7MW | 水冷+风冷 | 金属/陶瓷高效加工1 |
HyperRapid NXT 355-50 | 355nm | 50W | <10ps | 单发–5MHz | >75μJ | 水冷 | 高功率UV微加工9 |
PICOPOWER-RG1-1064-10K(可选532nm) | 532nm | 290mW@10kHz | <25ps | 单发–10kHz | >1.4MW | 风冷 | 科研级微加工1 |
关键差异:
266nm 型号(如LFX-15108)适合超精密加工,但功率较低(15W)。
355nm 型号(如LFV-28104、HyperRapid NXT 355-50)适合高功率微加工(28W–50W)。
532nm 型号(如LDH-G2510)适合工业级高效加工(25W)。
推荐型号:LFX-15108(266nm, 15W)
优势:极短波长,适用于透明材料、半导体晶圆检测。
缺点:功率较低,加工速度较慢。
推荐型号:LFV-28104(355nm, 28W)或 HyperRapid NXT 355-50(50W)
优势:平衡了精度与功率,适合高精度钻孔、3D微结构加工。
缺点:UV波长对光学元件损耗较大。
推荐型号:LDH-G2510(532nm, 25W)
优势:高功率、高稳定性,适合大批量金属切割/打标。
缺点:对部分高反射材料(如铜)加工效率较低。
266nm:超精密加工,但功率受限。
355nm:高精度+较高功率,适合微细结构。
532nm:工业级高效加工,性价比高。