超薄材料测量该选谁？富士FT-A200R与Yamabun TOF-C2实测对比

发布日期：2025-08-12      浏览次数：9

在超薄材料测量领域，富士FT-A200R和Yamabun TOF-C2代表了两种不同的技术路线——接触式机械测量与非接触电容式测量。以下是基于实测数据的深度对比分析，帮助用户根据具体需求选择优方案：

一、核心参数对比

指标	富士FT-A200R	Yamabun TOF-C2
测量原理	接触式机械探头（可调压力0.3N）	非接触电容式（自动介电补偿）
测量范围	3μm–100μm	0–500μm
分辨率	0.01μm	0.01μm
重复精度	0.05μm	未明确（实测约±0.03μm）
适用材料	硬质/脆性材料（硅片、陶瓷膜）	软膜/粘性材料（柔性电路板、胶带）
温度稳定性	±0.2μm/℃（需恒温环境）	±0.01μm/℃（内置温漂补偿）
产线适配性	支持RS232C输出，可集成至分切机	台式设计，适合实验室离线测量

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二、实测性能表现

1. 超薄电子膜（如半导体抗蚀剂）

• 富士FT-A200R：

• 实测3μm硅片厚度时，重复性误差仅±0.02μm，线性度±0.2%。

• 优势：可调压力避免划伤晶圆，适合硬质材料。

• 局限：对柔性材料（如PI膜）可能因压力导致形变误差。

• Yamabun TOF-C2：

• 测量5μm柔性铜箔时，电容式探头无接触变形，但介电常数波动可能导致±0.05μm偏差。

• 优势：自动介电补偿功能减少材料特性影响。

• 局限：多层复合材料（如Cu/PI/Cu）可能因介电层干扰读数。

2. 表面粗糙度适应性

• 富士：粗糙表面（Ra>0.1μm）下，探头可能因接触不均导致数据波动（实测误差值+0.1μm）。

• Yamabun：电容式对表面粗糙度容忍度更高（Ra<0.5μm时误差值<0.03μm）。

3. 测量效率

• 富士：连续测量模式可达100点/分钟，适合在线检测。

• Yamabun：单点测量需手动定位，速度约20点/分钟。

三、选型决策树

1. 材料类型：

• 硬质/脆性材料（硅片、玻璃镀膜）→ 富士FT-A200R

• 软膜/粘性材料（FPC、胶带）→ Yamabun TOF-C2

2. 测量环境：

• 产线在线集成 → 富士（RS232C输出，抗振动设计）

• 实验室高精度 → Yamabun（温控更优）

四、行业案例验证

• 半导体厂A：采用富士FT-A200R测量10μm氮化硅膜，良率提升15%（接触式压力稳定）。

• 柔性电路板厂B：Yamabun TOF-C2测量8μm PI基材，避免传统接触式探头导致的材料拉伸问题。

五、结论

• 富士FT-A200R是超薄硬质材料测量的标，尤其适合半导体、陶瓷膜等场景。

• Yamabun TOF-C2在柔性/粘性薄膜领域更具优势，且操作更简便。

若预算允许，建议双机配置：富士用于工艺控制，Yamabun用于材料研发验证。