反射率测量设备选型：MSP-100 同类产品全清单

发布日期：2025-08-13      浏览次数：25

以下是 Shibuya-opt MSP-100 系列反射率测量仪 的同类/替代产品全清单，涵盖不同行业需求（光学镀膜、半导体、显示等），并附关键参数对比：

一、高精度微区反射率测量（<100μm光斑）

型号	品牌	波长范围	光斑尺寸	精度	特点	适用行业
MSP-100UV	Shibuya-opt	380-1050nm	φ50μm	±0.02%	紫外敏感，非接触测量，适合半导体光刻胶检测	半导体、光学镀膜
USPM-RUⅢ	奥林巴斯	380-780nm	φ30μm	±0.01%	膜厚+反射率联测，干涉法高精度	光学镀膜、单层膜分析
Filmetrics F20	KLA（美国）	190-1700nm	10μm	±0.1%	薄膜厚度+反射率同步分析，毫秒级测量	半导体、MEMS
SRT100	北京某贸易商	250-1100nm	500μm-5mm	±0.5%	可测5层薄膜折射率/反射率，支持实时在线测量	液晶显示、光学涂层
SR100	Angstrom Sun	250-1100nm	500μm-5mm	±0.5%	快速测量（2ms），支持多通道升级	半导体、纳米材料

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二、宽光谱反射率测量（紫外-红外）

型号	品牌	波长范围	光斑尺寸	特点	适用行业
MSP-100IR	Shibuya-opt	近红外（定制）	φ50μm	InGaAs传感器，高信噪比	红外光学、热控涂层
410Vis-IR	安洲科技	335nm-21μm	模块化探头	可见+红外双测量头，支持太阳能吸收率计算	航空、太阳能、建筑
SSR-ER	帝恩斯（美国）	太阳光谱模拟	25.4mm孔径	16种大气条件测试，NIST溯源	航天、热控涂层
RT100	未知品牌	200-2500nm	1mm	透射/反射联测，积分球兼容	显示面板、滤光片

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三、便携式/工业现场适用

型号	品牌	波长范围	精度	特点	适用场景
15R-RGB	美国某品牌	多波段（RGB+IR）	±0.002	便携式，5波段测量，太阳能反射镜检测	太阳能、户外检测
C84-Ⅲ	PUSHEN	可见光（固定角度）	±1%	低成本，适用于涂料遮盖力测试	建筑涂料、质检
NR4510	三恩时	可见光	±0.5%	手持式，即开即测，适合产线快速检测	工业现场、快速质检

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四、科研级高精度设备

型号	品牌	波长范围	精度	特点	适用领域
Horiba SmartSpec 3000	Horiba	深紫外-THz	0.001%	超高研究级，低温恒温样品仓	量子材料、二维材料
kSA SpectR	kSA（美国）	220-2500nm	±1%	实时镀膜监控（MBE/MOCVD），适合半导体外延生长	半导体外延片研发
Sentech SE 850	Sentech	椭偏+反射联测	纳米级	可分析光学常数（n,k），适合超薄膜研究	高光学镀膜

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选型建议

1. 光学镀膜：MSP-100UV（高精度）或 USPM-RUⅢ（膜厚联测）。

2. 半导体：Filmetrics F20（微区）或 kSA SpectR（实时监控）。

3. 显示行业：RT100（宽光谱）或 410Vis-IR（太阳能优化）。

4. 工业现场：NR4510（便携）或 15R-RGB（多波段）。