在电子显微镜实验室里,每一寸空间都价值千金。传统溅射设备往往需要额外配置真空泵、连接复杂的管道系统,不仅占用宝贵空间,还增加了安装与维护的复杂性。
日本Shinkuu MSP-1S磁控离子溅射仪以其高度集成的一体化设计,内置真空泵系统,改变了这一现状,为SEM样品制备带来了革命性的便捷体验。
MSP-1S的紧凑型设计是工程学的典之作。尺寸仅为20cm×35cm×34cm,重量14kg,这一精巧体型使其能够轻松适应任何实验室环境。
与传统溅射设备相比,MSP-1S节省了近40%的占地面积,让有限的实验室空间得到优利用。
内置真空泵系统是MSP-1S的核心创新。这一设计消除了外接真空泵的需要,避免了复杂的管道连接和额外的设备购置成本。用户不再需要为真空泵寻找安置空间,也无需处理泵与主机之间的连接问题。
真正实现了“开箱即用"的便捷体验。设备放置、电源连接、样品放置、参数设定——简单的四步操作即可开始样品制备工作。
内置真空泵不仅节约空间,更带来了性能上的显著提升。由于泵与溅射腔室的高度集成,真空建立时间大幅缩短,减少了样品准备的整体周期。
从启动到达到工作真空度,MSP-1S仅需几分钟时间,比传统系统快50%以上。
操作流程的简化是另一大亮点。传统的溅射系统需要分别操作主机和外部真空泵,而MSP-1S通过一体化控制系统,实现了单点操作。
用户只需设置涂层时间,按下开始按钮,设备即可自动完成抽真空、溅射和排气全过程。
这种操作上的简化大大降低了技术门槛,即使是新操作员也能在经过简短培训后独立完成高质量的样品制备。对于教学实验室或需要频繁更换操作人员的环境来说,这一优势尤为明显。
MSP-1S的每一个设计细节都围绕着SEM样品制备的特殊需求而优化。紧凑的体型并不意味着性能妥协,相反,它集成了专业级溅射系统的所有关键功能。
设备采用磁控溅射技术,确保薄膜厚度均匀性和颗粒分布一致性,为高质量SEM成像奠定基础。
内置真空泵系统特别针对SEM实验室的高通量需求进行了优化。其快速的抽气速度和稳定的真空性能,使得设备能够高效处理批量样品,满足现代半导体和材料研究实验室对高效率的需求。
针对不同的SEM观察需求,MSP-1S支持多种靶材选择,包括金、金钯合金、铂等。内置的靶材更换机制简单快捷,使一台设备能够满足多样化的样品制备需求。
在半导体失效分析实验室,技术人员经常需要快速制备大量样品进行缺陷检测。MSP-1S的紧凑设计和内置真空泵系统使得设备可以直接安置在SEM旁边,实现样品制备与观察的无缝衔接。
“过去我们需要将样品送到另一个房间进行镀膜,现在只需在SEM旁就能完成全过程,效率提升了至少三倍。"一位晶圆厂质量控制主管表示。
对于大学教学实验室,空间有限且学生操作水平不一,MSP-1S的操作安全性和简易性带来了显著优势。其一体化设计减少了错误操作的可能性,内置安全联锁装置确保设备只有在真空达到要求时才会启动溅射过程。
在私营研发中心,设备的稳定性和可靠性是首要考量。MSP-1S的内置真空泵系统经过特殊设计,维护周期长,故障率低,确保了研究工作的连续性和数据的可靠性。
选择MSP-1S意味着选择了一种更高效、更智能的SEM样品制备方式。其内置真空泵的紧凑型设计不仅解决了实验室空间紧张的问题,更重新定义了工作流程。
空间节约:比传统系统节省40%占地面积,释放宝贵实验室空间。
时间效率:快速抽真空设计,样品制备周期缩短50%以上。
操作简便:一键式操作,降低技术门槛,减少培训成本。
灵活适配:可轻松安置于SEM旁,实现制备-观察一体化工作流程。
随着半导体和材料科学向纳米尺度迈进,对样品制备效率和质量的要求日益提高。Shinkuu MSP-1S以其创新的内置真空泵设计和紧凑型结构,为现代实验室提供了面向未来的解决方案。