| 参数 | MSP - 100B | MSP - 100IR | MSP - 100UV |
|---|---|---|---|
| 测量波长 | 350-1100nm(可见光为主) | 900-1700nm(近红外) | 230-800nm(紫外 - 可见光) |
| 核心传感器 | 背照式 CCD 传感器 | InGaAs 传感器 | 背照式 CCD 传感器 |
| 测量再现性(B 型) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) |
| 测量 S/N 比(B 型) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) |
| 测量光斑(10× 物镜) | φ50μm | φ50μm | φ50μm |
| 样品曲率半径 | -1R 至 +∞(可测曲面) | -1R 至 +∞(可测曲面) | -1R 至 +∞(可测曲面) |
| 核心优势 | 可见光波段高精度,适配常规光学检测 | 红外高灵敏度,适合半导体、红外元件检测 | 紫外波段精准,适配光刻胶、UV 涂层等检测 |
波段定位差异
MSP - 100B:覆盖可见光及少量近红外,是通用型可见光反射率测量方案,适合多数常规光学元件(如镜头、AR/AG 镀膜玻璃)的日常检测。
MSP - 100IR:聚焦近红外波段,针对红外光学材料、半导体晶圆、红外传感器等,能精准捕捉红外波段反射特性,适配红外器件研发与质量控制。
MSP - 100UV:延伸至紫外波段,适配紫外敏感材料,如光刻胶薄膜、UV 固化涂层、紫外光学滤镜等,满足半导体光刻、紫外光学元件的高精度检测需求。
传感器适配
MSP - 100B/UV 用背照式 CCD,在可见 / 紫外区灵敏度高、信噪比优;MSP - 100IR 用 InGaAs 传感器,保障红外波段高灵敏度,匹配其波段测量需求。
共性优势
三款均具备 φ50μm 微小光斑测量能力,采用半反射镜技术可消除背面反射,无需背面处理即可测薄至 0.2mm 的样品,支持曲面与平面测量,操作软件友好,测量快速且重复性强。
按应用场景选型
| 应用场景 | 推荐型号 | 选型理由 |
|---|---|---|
| 光学镜头、AR/AG 镀膜、常规显示面板 | MSP - 100B | 可见光波段覆盖全面,满足常规光学产品反射率检测需求 |
| 半导体晶圆、红外传感器、红外光学元件 | MSP - 100IR | 近红外波段适配,匹配红外器件反射特性分析需求 |
| 光刻胶、UV 涂层、紫外滤镜、PCB 光刻工艺 | MSP - 100UV | 紫外波段精准测量,适配紫外敏感材料检测 |
| 跨波段复合检测 | 组合选型(如 B+UV/B+IR) | 根据实际波段覆盖需求,搭配两款设备实现全波段检测 |
按样品特性选型
微小区域(φ50μm)、超薄样品(0.2mm,20× 物镜)、曲面样品:三款均可,优先按波段选择。
低反射率样品:三款通过光学设计提升集光效率,搭配高灵敏度传感器,均可快速稳定测量,按波段匹配即可。
按精度需求选型
451-950nm 波段对精度要求高(±0.02%):三款均可满足该波段精度;380-450nm/951-1050nm 精度为 ±0.2%,若侧重紫外 / 红外边缘波段,优先对应型号(UV/IR)。
明确核心测量波段,确定基础型号(B/IR/UV)。
确认样品特性(尺寸、厚度、曲面 / 平面、反射率),三款均适配微小 / 超薄 / 曲面样品,无需额外筛选。
核对精度需求,重点关注目标波段的再现性指标。
若需跨波段测量,可组合两款型号,覆盖更宽光谱范围。