在LCD与半导体产业的精密制造链路中,UV光源作为图形转移、材料固化的核心能量载体,其稳定性、精准度与适配性直接决定产线效率与产品良率。日本朝日分光250W水银光源REX-250,以多波长覆盖、精准控光、无缝集成的核心优势,成为两大领域突破产能瓶颈、优化工艺成本的优选装备,为生产提速注入强劲动力。
深耕核心工艺,适配产业刚需
LCD与半导体生产对UV光源的波长、光强、稳定性有着严苛要求,REX-250针对性破解工艺痛点,实现从固化到光刻的全场景适配,兼顾效率与精度的双重提升。
LCD制造:精准固化护航高效量产
在LCD全制程中,UV固化与光配向工艺直接影响面板显示效果与结构稳定性。REX-250凭借365nm核心波长(行业标准固化波长),匹配液晶盒封口胶、PIN管脚固定胶及TOP层绝缘膜的光固化需求,通过光聚合交联反应使材料形成致密稳定结构,固化速度快、粘结力强,同时有效降低后固化温度,减少面板热损伤风险。
针对LCD产线的连续化生产需求,REX-250搭载的圆形连续可变ND滤光片可实现100%-5%光量精准调节,配合0.5-99999.9秒宽范围快门定时器,能根据不同胶材特性与面板规格灵活设定工艺参数,避免能量不足导致的固化不彻1底或能量过量引发的气泡、变形问题,保障批量生产的一致性。其强制排气冷却系统可维持长时间稳定运行,适配LCD产线7×24小时高强度作业需求,杜绝因光源过热导致的功率衰减,进一步提升产线良率。
半导体光刻:多波长赋能灵活研发与小批量生产
半导体原型芯片、MEMS器件的光刻工艺,对光源波长的针对性与光强稳定性要求高。REX-250覆盖248nm深紫外至436nm可见光的多特征谱线,可精准匹配i-line(365nm)、h-line(405nm)、g-line(436nm)光刻胶的感光需求,通过8槽滤光片轮换系统实现快速波长切换,无需更换光源本体,大幅降低设备投入与换产时间。
光刻过程中,REX-250的高纯度单色光输出可减少光散射与衍射效应,配合精准光量调节与定时控制,有效优化图形边缘清晰度,降低邻近效应与主体反差对光刻精度的影响,助力实现微米/亚微米级图形转移,为半导体研发实验与小批量生产提供高性价比解决方案。同时,248nm深紫外波长还可用于晶圆表面有机污染物的UV清洗,通过光敏氧化作用分解碳氢化合物,使表面接触角降至20度以下,满足精密光刻的洁净度要求。
核心技术赋能,提速降本双向突破
REX-250的高效性不仅体现在工艺适配,更源于其人性化的技术设计,从集成能力、操作便捷性到成本控制,全1方位赋能产线升级。
无缝集成自动化产线,减少人工干预
面对LCD与半导体产业的智能化升级趋势,REX-250配备RS232C工业接口,可直接与PLC、计算机或MES系统无缝对接,实现远程启停、参数调节与时序同步控制。在自动化产线中,可与机械手、传送带、点胶机等设备精准联动,设定“工序触发-光源启动-照射完成-信号反馈"的闭环流程,无需现场手动操作,既避免人为误差,又节省单独固化/光刻工位的等待时间,实现“边走边固"“同步光刻"的高效作业模式,显著提升产线整体 throughput。
灵活调控+稳定运维,降低综合成本
除多波长切换与精准调光功能外,REX-250的平均灯泡寿命达1000小时,照度降至70%时会发出更换提示,便于提前规划运维周期,避免突发故障导致的产线停工。其紧凑的机身设计(主体尺寸262×341×488mm,重量17.7kg)可灵活嵌入各类生产平台与实验装置,无需占用大量空间,适配不同规模车间布局。
相较于高1端专用UV光源,REX-250以低成本实现深紫外到可见光的全波段覆盖,支持带通、长/短通等多种滤光片适配,兼顾研发灵活性与生产稳定性,大幅降低中小企业与科研机构的设备投入成本,同时减少换灯、调试等运维环节的时间与人力消耗,实现综合成本优。
安全防护升级,保障连续生产
LCD与半导体生产中,UV光源的安全运行是产线稳定的前提。REX-250采用脉冲马达驱动快门,响应迅速且关闭严密,配合远程控制功能,可减少操作人员直接接触深紫外光的风险,避免强光辐射伤害。设备配备完善的状态监测与故障反馈机制,实时监控冷却系统、灯泡状态与光强输出,异常时自动报警,为无人值守自动化产线提供可靠安全保障。
总结:精准赋能,成为产线提速核心装备
日本朝日分光REX-250 250W水银光源,以“多波长覆盖+精准控光+无缝集成"的核心优势,深度适配LCD与半导体生产的固化、光刻、清洗等关键工艺,既满足工业量产对效率、良率与稳定性的严苛要求,又适配科研实验的灵活可调需求。在产业智能化、高效化升级的浪潮中,REX-250凭借高性价比与全场景适配能力,成为助力企业突破产能瓶颈、降低综合成本的核心UV光源装备,为LCD与半导体产业高质量发展注入持续动力。