日本Shinkuu MSP-1S离子溅射仪与配套靶材完整介绍

发布日期：2026-04-20      浏览次数：4

一、产品概述

MSP-1S 是日本 Shinkuu（真空デバイス）公司生产的台式磁控离子溅射仪，专为扫描电镜（SEM）样品导电膜制备设计，广泛用于材料、生物、电子等领域。


1. 核心参数

• 尺寸 / 重量：W200×D350×H345 mm，约 14.6 kg，桌面式、内置真空泵。

• 真空系统：内置 10 L/min 旋转泵，极限真空约 2 Pa，工作真空 6–10 Pa（氩气）。

• 样品仓：内径 120 mm× 高 65 mm，硬质玻璃；样品台 φ50 mm，浮动式（与阳极分离）。

• 靶材规格：φ51 mm× 厚 0.1 mm（Ag 为 0.5 mm），磁控管电极（永磁体内置）。

• 电源：AC100 V，10 A；工作电压约 500 V，低压磁控，减少样品损伤。

2. 工作原理

1. 真空腔充氩气，高压电场使氩气电离为 Ar⁺。

2. Ar⁺在电场加速下轰击金属靶材，靶原子被溅出。

3. 靶原子沉积在样品表面，形成 5–50 nm 厚均匀金属膜，消除荷电、增强二次电子信号。

3. 关键设计优势

• 浮动样品台：电流不流经样品，升温小，保护热敏感样品（如生物、高分子）。

• 低压磁控：500 V 级电压、6–8 Pa 气压，膜层致密（均匀性≤10%）、颗粒细，适合高倍 SEM。

• 一键全自动：抽真空→溅射→充气全流程自动，1–5 分钟完成镀膜，新手易用。

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二、靶材体系与选型

MSP-1S 支持 5 种贵金属靶材，标配 Au-Pd 合金，可选 Au、Pt、Pt-Pd、Ag，规格均为 φ51 mm。




1. 各靶材特性与应用

• Au-Pd（金钯，60:40，标配）

• 特点：导电性好、膜连续、抗氧化、颗粒中等（20–30 nm），成本均衡。

• 适用：绝大多数常规 SEM 样品（高分子、陶瓷、粉末、生物样品），10,000–30,000 倍观察。

• Au（金）

• 特点：导电性最1优、二次电子产率高、颗粒粗（30–50 nm）、易团聚。

• 适用：低倍（≤10,000×）快速观察、导电要求高的样品；不适合高分辨率或多孔样品。

• Pt（铂）

• 特点：颗粒最细（10–20 nm）、膜致密稳定、抗氧化强、成本高。

• 适用：高分辨率 FE-SEM（≤50,000×）、EBSD 分析、纳米结构 / 薄膜 / 生物样品高倍成像。

• Pt-Pd（铂钯，80:20）

• 特点：颗粒细（15–25 nm）、导电性与稳定性平衡、成本低于纯 Pt。

• 适用：中高倍（20,000–40,000×）、兼顾分辨率与成本的科研场景。

• Ag（银，厚 0.5 mm）

• 特点：导电性高、沉积快、极易氧化，需低真空 / 氩气保护保存。

• 适用：短期高导电需求、非氧化环境样品；不用于长期存放或高湿环境。

2. 靶材选型指南

表格

应用场景	推荐靶材	关键理由
常规 SEM（10k–30k×）、通用样品	Au-Pd（标配）	均衡导电 / 成像 / 成本
高倍 FE-SEM（≤50k×）、EBSD	Pt / Pt-Pd	细颗粒、致密膜、高分辨率
低倍快速筛查、高导电需求	Au	高导电、沉积快
短期高导电、非氧化环境	Ag	高导电、成本低
生物 / 高分子（热敏感）	Pt / Au-Pd	低损伤、膜均匀

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三、设备与靶材匹配分析

1. 优势互补

• 低压磁控 + 浮动台：与 Pt/Pt-Pd 靶材适配，实现低损伤 + 细颗粒，适合生物 / 纳米样品高倍成像。

• 多靶材兼容：一台设备覆盖从低倍质检到高倍科研的全场景，性价比高。

• 靶材规格统一：φ51 mm 快换设计，切换便捷，减少停机时间。

2. 局限性

• 非超高真空：工作真空 6–10 Pa，靶材颗粒（10–50 nm），不支持≤100k× 的超高分辨率 FE-SEM（需 3–5 nm 颗粒，如 Cressington 208HR）。

• 无反应溅射：仅支持贵金属单质 / 合金，不能沉积氧化物、氮化物等功能膜。

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四、总结

MSP-1S 是中小型 SEM 实验室的理想标配设备：体积小、操作简、低损伤，靶材体系覆盖从常规到高倍的主流需求，Au-Pd 通吃、Pt 主攻高倍、Au 适合快速质检。选型时优先匹配放大倍数、样品类型与预算，可最1大化设备价值。